[发明专利]一种晶圆封装芯片的锡球制造设备在审
申请号: | 202210336731.8 | 申请日: | 2022-03-31 |
公开(公告)号: | CN114695150A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 洪华鑫;翁国权 | 申请(专利权)人: | 广西桂芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 湖南楚墨知识产权代理有限公司 43268 | 代理人: | 孙杰英 |
地址: | 530000 广西壮族自治区南宁市*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 封装 芯片 制造 设备 | ||
1.一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,包括钳锅(2),钳锅(2)的下方设置有冷却罐(1),其特征在于:所述钳锅(2)的下侧排列设置有若干根细管(22),且钳锅(2)的一侧连接有升降架(4);
所述冷却罐(1)的上半段转动设置有旋转筒(11),旋转筒(11)为工型结构,且旋转筒(11)四周的横向部位上贯穿有沉降管(12),沉降管(12)的分布结构与细管(22)的分布结构相对应。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于:所述沉降管(12)的侧边设置有沉降控制静电条(3),沉降控制静电条(3)连接有静电发生器(7)的输出端,沉降控制静电条(3)的一端设置有配重座(31),配重座(31)的一侧连接有滑杆(35),滑杆(35)的下端滑动套设有气筒(36),气筒(36)固定设置于旋转筒(11)上,且气筒(36)的下端一侧设置有气阀(37);
所述旋转筒(11)的侧边设置有弧形的导轨(33),导轨(33)的弧形的圆心与旋转筒(11)的圆心相同,且导轨(33)为倾斜结构,并且导轨(33)的一侧支撑设置有立架(34),所述配重座(31)的一侧设置有滑轮(32),滑轮(32)与导轨(33)的结构相匹配;
所述细管(22)与静电发生器(7)的输出端连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于:所述沉降管(12)环绕旋转筒(11)设置有若干组,每一组排列设置有多个,所述钳锅(2)下侧细管(22)的排列结构与每一组沉降管(12)的排列结构相同。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于:所述沉降管(12)的每一组的两侧都各设置有一根沉降控制静电条(3);
每一组沉降管(12)之间都设置有屏蔽板(16),屏蔽板(16)与沉降控制静电条(3)之间设有间距,且屏蔽板(16)与旋转筒(11)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于:所述钳锅(2)的侧壁设置有夹层,该夹层内环绕设置有电热管(21);
所述钳锅(2)的上端一侧设置有加料口(23),且钳锅(2)内设置有阀板(24),阀板(24)的外周与钳锅(2)的内壁滑动连接,且阀板(24)的顶部设置有电动推杆(25),电动推杆(25)的输出端与阀板(24)固定连接,且电动推杆(25)固定安装于升降架(4)上。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于:所述升降架(4)一侧铰接有传动臂(42),传动臂(42)远离升降架(4)的一端转动连接有偏心轮(41),偏心轮(41)的偏心部与传动臂(42)转动连接,且偏心轮(41)的中部连接有支撑轴(44),支撑轴(44)转动连接有机架(5),且支撑轴(44)的一端连接有电机(46),电机(46)固定设置于机架(5)上。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于:所述升降架(4)的两端至少设置有2组传动臂(42)、偏心轮(41)和支撑轴(44),且2组中的支撑轴(44)通过皮带(45)传动连接;
所述升降架(4)的两端分别滑动穿设有限位杆(43),限位杆(43)与机架(5)固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆封装芯片的锡球制造设备,其特征在于:所述升降架(4)与旋转筒(11)之间传动连接。
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