[发明专利]极紫外光产生方法和系统

权利要求书

1.一种极紫外光产生方法，其特征在于，包括：

光纤激光光源装置根据激光参数产生激光脉冲；

液滴靶生成装置在真空环境中根据液滴靶参数生成两路以上交替喷出的液滴靶流，在预设打靶位置形成重复频率与所述激光脉冲的重复频率匹配的液滴靶；

所述激光脉冲在所述预设打靶位置轰击对应的所述液滴靶，产生极紫外光。

2.根据权利要求1所述的极紫外光产生方法，其特征在于，所述液滴靶参数包括每一路液滴靶流中液滴靶的喷出速率与喷出频率，还包括液滴靶流间的液滴靶喷出延迟时间。

3.根据权利要求2所述的极紫外光产生方法，其特征在于，所述液滴靶生成装置在真空环境中根据液滴靶参数生成两路以上交替喷出的液滴靶流，在预设打靶位置形成重复频率与所述激光脉冲的重复频率匹配的液滴靶，包括：

液滴靶生成装置在真空环境中根据液滴靶参数生成两路以上交替喷出的液滴靶流至预设打靶位置；

控制装置获取所述预设打靶位置的液滴靶的实际重复频率，并根据所述液滴靶的实际重复频率与所述激光脉冲的重复频率调整所述液滴靶参数，得到调整后的液滴靶参数；

所述液滴靶生成装置根据所述调整后的液滴靶参数生成两路以上交替喷出的液滴靶流，在所述预设打靶位置形成重复频率与所述激光脉冲的重复频率匹配的液滴靶。

4.根据权利要求3所述的极紫外光产生方法，其特征在于，所述控制装置获取所述预设打靶位置的液滴靶的实际重复频率，并根据所述液滴靶的实际重复频率与所述激光脉冲的重复频率调整所述液滴靶参数，得到调整后的液滴靶参数，包括：控制装置获取所述预设打靶位置的液滴靶的实际重复频率，并根据所述液滴靶的实际重复频率与所述激光脉冲的重复频率分别对应调整每一路液滴靶流中液滴靶的喷出速率与喷出频率，以及液滴靶流间的液滴靶喷出延迟时间，得到调整后的液滴靶参数。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的极紫外光产生方法，其特征在于，在所述激光脉冲在所述预设打靶位置轰击对应的所述液滴靶，产生极紫外光之后，还包括：

控制装置获取所述液滴靶的烧蚀情况，并根据所述烧蚀情况调整所述光纤激光光源装置的所述激光参数。

6.根据权利要求5所述的极紫外光产生方法，其特征在于，所述烧蚀情况包括烧蚀比例，所述光纤激光光源装置的所述激光参数包括线宽、波长以及功率；所述控制装置获取所述液滴靶的烧蚀情况，并根据所述烧蚀情况调整所述光纤激光光源装置的所述激光参数，包括：

控制装置获取所述液滴靶的烧蚀比例，并根据所述烧蚀比例和预设烧蚀比例，调整所述光纤激光光源装置的线宽、波长以及功率。

7.一种极紫外光产生系统，其特征在于，包括控制装置、光纤激光光源装置以及液滴靶生成装置，所述光纤激光光源装置与所述液滴靶生成装置均连接所述控制装置；

所述光纤激光光源装置用于根据激光参数产生激光脉冲；

所述液滴靶生成装置用于在真空环境中根据液滴靶参数生成两路以上交替喷出的液滴靶流，在预设打靶位置形成液滴靶；所述激光脉冲在所述预设打靶位置轰击对应的所述液滴靶，产生极紫外光；

所述控制装置用于根据所述液滴靶的实际重复频率，调整所述液滴靶生成装置的液滴靶参数，以使所述液滴靶的重复频率与所述激光脉冲的重复频率匹配。

8.根据权利要求7所述的极紫外光产生系统，其特征在于，所述液滴靶生成装置包括液滴发生模块与两个以上的液滴喷出模块，各所述液滴喷出模块连接所述液滴发生模块与所述控制装置。

9.根据权利要求8所述的极紫外光产生系统，其特征在于，各所述液滴喷出模块围绕所述预设打靶位置以环形排列。

10.根据权利要求7至9中任意一项所述的极紫外光产生系统，其特征在于，还包括连接所述控制装置的摄像装置；所述摄像装置用于采集所述预设打靶位置处的图像信息并反馈至所述控制装置。