[发明专利]Micro LED芯片的转移装置及转移方法在审
申请号: | 202210297108.6 | 申请日: | 2022-03-24 |
公开(公告)号: | CN114695624A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 尹红山 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L21/67;H01L21/683;H01L25/075 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 孔翰 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | micro led 芯片 转移 装置 方法 | ||
本发明提供了一种Micro LED芯片的转移装置及转移方法,包括:机台,用于承载并传送目标基板;临时基板,用于临时承载Micro LED芯片;刺轮,包括至少3个刺针,所述刺针用于将所述Micro LED芯片从所述临时基板上脱离,转移至所述目标基板上;滑轮,用于传送所述临时基板;在所述Micro LED芯片转移过程中,所述刺轮和所述滑轮位于所述机台的上方,且位于所述临时基板背离所述Micro LED芯片的一侧。通过采用本发明提供的所述转移装置,实施本发明提供的转移方法,对所述Micro LED芯片进行转移,可以达到百万颗/小时的转移效率,提高了Micro LED芯片的转移效率,从而提高了Micro LED显示屏的生产效率,降低了生产成本。
技术领域
本申请涉及显示领域,尤其涉及一种Micro LED芯片的转移装置及转移方法。
背景技术
微型发光二极管(Micro Light Emitting Diode,Micro LED)显示屏因具有高亮度、高对比度、高色域、高效率、高可靠性等优势,一直是显示领域的重点研究内容。
但是,由于Micro LED显示屏在生产过程中需要将数以百万计的Micro LED芯片通过机械转移等手段转移至阵列基板上,这种转移手段转移效率低,从而导致Micro LED显示屏的生产效率低、生产成本高。
发明内容
本发明提供一种Micro LED芯片的转移装置及转移方法,以提高Micro LED芯片的转移效率,从而提高Micro LED显示屏的生产效率,降低生产成本。
为解决以上问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种Micro LED芯片的转移装置,所述Micro LED芯片的转移装置包括:
机台,用于承载并传送目标基板;
临时基板,用于临时承载Micro LED芯片;
刺轮,包括至少3个刺针,所述刺针用于将所述Micro LED芯片从所述临时基板上脱离,转移至所述目标基板上;
滑轮,用于传送所述临时基板;
在所述Micro LED芯片转移过程中,所述刺轮和所述滑轮位于所述机台的上方,且位于所述临时基板背离所述Micro LED芯片的一侧。
可选地,在本发明的一些实施例中,所述刺轮包括轮毂和所述刺针,所述刺针设置于所述轮毂的外周。
可选地,在本发明的一些实施例中,所述刺针的顶部为平面、球面、或外凸的曲面。
可选地,在本发明的一些实施例中,所述刺针的尖部直径小于20微米,所述刺针的高度大于10微米。
可选地,在本发明的一些实施例中,所述临时基板为传送带,所述传送带包括黏性层,所述黏性层位于所述传送带承载所述Micro LED芯片的表面,用于粘贴固定所述MicroLED芯片。
可选地,在本发明的一些实施例中,所述临时基板为传送链条,所述传送链条包括凹槽和开孔,所述凹槽设于所述传送链条承载所述Micro LED芯片的一侧,用于容纳固定所述Micro LED芯片,所述开孔与所述凹槽连通贯穿所述传送链条。
可选地,在本发明的一些实施例中,所述刺针的高度H大于所述开孔的深度L,且所述刺针在顶部往根部L处的直径小于所述开孔的口径。
可选地,在本发明的一些实施例中,所述滑轮包括主动传送轮,所述主动传送轮和所述刺轮共同传送所述临时基板。
可选地,在本发明的一些实施例中,所述滑轮包括主动传送轮和从动传送轮,所述主动传送轮和所述从动传送轮位于所述刺轮的两侧,所述刺针的尖凸出于所述主动传送轮和所述从动传送轮的传送平面。
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