[发明专利]一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件有效

专利信息
申请号: 202210271334.7 申请日: 2022-03-18
公开(公告)号: CN114457417B 公开(公告)日: 2022-11-11
发明(设计)人: 邹明蓓;朱佰喜;薛抗美;雷宏涛;董志江 申请(专利权)人: 广州志橙半导体有限公司
主分类号: C30B25/12 分类号: C30B25/12;C23C16/32;C23C16/458;C30B29/36
代理公司: 北京中和立达知识产权代理有限公司 11756 代理人: 张攀
地址: 510700 广东省广州市黄埔区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 陶瓷 涂层 石墨 托盘 旋转 组件
【权利要求书】:

1.一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件,包括承载盘(1)和盖板(2),其特征在于,所述承载盘(1)上设有第一定位结构(3),所述盖板(2)底部设有第二定位结构(4),所述第一定位结构(3)与第二定位结构(4)相互配合;

所述第一定位结构(3)为第一凹槽或第一凸台,所述第二定位结构(4)为第二凸台或第二凹槽,所述第一凹槽与第二凸台相互配合,所述第一凸台与第二凹槽相互配合;

所述承载盘(1)下端通过若干配合机构与安装盘(7)连接,若干配合机构沿着所述承载盘(1)下端周侧间隔布置,所述配合机构包括:

支撑柱(8),上端与所述承载盘(1)下端固定连接;

配合块(6),与所述支撑柱(8)下端固定连接,所述安装盘(7)上端设置连接凹槽(71),所述支撑柱(8)及配合块(6)用于插入所述连接凹槽(71),所述配合块(6)的右端上侧设有放置槽(619),所述配合块(6)的右端下侧设有配合口(601),所述配合块(6)的内部上侧设有配合腔一(605),所述配合腔一(605)的内部下侧设有配合腔二(615),所述放置槽(619)和配合腔一(605)连通,所述配合口(601)和配合腔二(615)连通,所述配合腔二(615)连通有配合腔三(608),且配合腔三(608)设置在所述配合块(6)的内部;

导向轮(602),所述导向轮(602)设置在所述放置槽(619)内部,且导向轮(602)与安装块(603)转动连接,所述安装块(603)穿过放置槽(619)的左端进入配合腔一(605)中与推动块一(606)固定连接,所述推动块一(606)与推动块二(607)滑动连接,且所述推动块一(606)远离推动块二(607)的一端与所述配合腔一(605)的上端滑动连接;

固定块一(612),所述固定块一(612)穿过所述配合口(601)进入配合腔二(615)中与缓冲板(613)固定连接,所述缓冲板(613)滑动设置在所述配合腔二(615)中,且缓冲板(613)和配合腔二(615)之间固定设有若干弹簧三(614);

固定块二(609),所述固定块二(609)滑动设置在所述配合腔三(608)中,且固定块二(609)贯穿所述配合腔三(608)的下端进入配合腔二(615)中与所述固定块一(612)配合,所述固定块二(609)远离所述固定块一(612)的一侧设有空腔(610),所述空腔(610)内部沿左右方向滑动设有限位板(604),所述限位板(604)和空腔(610)之间固定设有若干弹簧四(611);

所述推动块二(607)远离推动块一(606)的一端贯穿配合腔一(605)的下端进入配合腔三(608)中,且进入配合腔三(608)的推动块二(607)贯穿空腔(610)的上端与所述限位板(604)接触;

所述配合机构还包括:

绕线轮(616),所述绕线轮(616)设置在所述配合块(6)的内部,且绕线轮(616)与连接绳(617)连接,所述连接绳(617)的一端与所述限位板(604)固定连接,所述连接绳(617)远离所需限位板(604)的一端与第二操作块(618)固定连接;

所述配合块(6)中设有供连接绳(617)穿过的内腔一,所述支撑柱(8)中设有供连接绳(617)穿过的内腔二。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件,其特征在于,

所述第一凹槽、第二凹槽均为腰形凹槽(31),所述第一凸台、第二凸台均为腰形凸台(41);

或所述第一凹槽、第二凹槽均为圆孔凹槽(32),所述第一凸台、第二凸台均为圆柱形凸台(42);

或所述第一凹槽、第二凹槽均为三角形凹槽(33),所述第一凸台、第二凸台均为腰形凸台(41)为三角形凸台(43)。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件,其特征在于,所述第一定位结构(3)设置在所述承载盘(1)非中心位置,所述第二定位结构(4)设置在所述盖板(2)底部非中心位置。

4.根据权利要求1所述的一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件,其特征在于,所述承载盘(1)与盖板(2)间使用中心定位的外圆裙边进行中心位置限制,所述第一定位结构(3)和第二定位结构(4)均设置在对应的外圆裙边上。

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