[发明专利]凸缘构造和真空排气系统

权利要求书

1.一种凸缘构造，其将第1配管和第2配管连接，其中，

该凸缘构造具有：

第1固定凸缘，其设于所述第1配管的前端；

第2固定凸缘，其设于所述第2配管的前端；

密封构件，其设于所述第1固定凸缘和所述第2固定凸缘中的一者；

可动凸缘，其在比所述第2固定凸缘靠里侧的位置，以包围所述第2配管的外周的方式具有框形状，设为能够在与所述第2配管的延伸方向相交的方向上移动；以及

固定构件，其将所述可动凸缘固定于所述第1固定凸缘。

2.根据权利要求1所述的凸缘构造，其中，

与所述第2配管的延伸方向相交的方向是与所述第2配管的延伸方向垂直的方向。

3.根据权利要求1所述的凸缘构造，其中，

所述第1配管、所述第2配管、所述第1固定凸缘、所述第2固定凸缘以及所述可动凸缘在与所述第1配管和所述第2配管的延伸方向垂直的方向上具有四边形的外形。

4.根据权利要求3所述的凸缘构造，其中，

所述四边形是长方形。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的凸缘构造，其中，

所述密封构件配置于在所述第1固定凸缘的前端平面设置的槽内。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的凸缘构造，其中，

所述可动凸缘的在与所述第2配管的延伸方向垂直的方向上的可移动量是所述第1固定凸缘与所述可动凸缘之间的偏移的容许量。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的凸缘构造，其中，

所述第2固定凸缘和所述可动凸缘均具有能够以可滑动的方式互相卡合的槽构造。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的凸缘构造，其中，

所述第2固定凸缘的外形小于所述第1固定凸缘的外形。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的凸缘构造，其中，

所述可动凸缘的外形大于所述第2固定凸缘的外形。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的凸缘构造，其中，

所述可动凸缘的外形与所述第1固定凸缘的外形相同。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的凸缘构造，其中，

所述固定构件是螺纹件。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的凸缘构造，其中，

在所述第2配管的外表面设有移动限制构件，该移动限制构件限制所述可动凸缘的沿着所述第2配管的延伸方向的移动。

13.根据权利要求12所述的凸缘构造，其中，

所述移动限制构件是自所述第2配管的外表面突出而成的突起。

14.一种真空排气系统，其中，

该真空排气系统具有：

第1配管；

第2配管；

权利要求1～13中任一项所述的凸缘构造，其将所述第1配管和所述第2配管连接；以及

真空排气装置，其连接于所述第1配管和所述第2配管中的一者。