[发明专利]一种液冷冷板内流道表面质量控制方法

说明书

本发明涉及表面处理技术领域，公开了一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，包括以下步骤：S1，对冷板内流道进行抛光处理；S2，对冷板内流道进行除油腐蚀处理；S3，对冷板内流道进行酸蚀处理。本发明解决了现有技术存在的复杂微波电路液冷冷板内流道表面质量的一致性差等问题。

技术领域

本发明涉及表面处理技术领域，具体是一种液冷冷板内流道表面质量控制方法。

背景技术

随着现代微电子技术的发展，电子装备的集成度越来越高，以模快化为代表的设计技术逐渐成为主流，一套系统要集成几十到上百个单独功能的模块，甚至有源相控阵雷达要集成成千上万个TR组件，系统的综合性能、可扩展性、标准化程度、可维修性以及可替换性大幅度提升，是当下及未来电子技术发展的主要方向。

随着系统集成度的提高，对系统的散热要求提出了苛刻的要求。液冷技术由于具有换热效率高的特点，可达40～80W/cm₂,最高可达120w/cm₂；另外，液冷散热器可以与电子模块的外形一体化设计和集成，不受设备外形、空间及体积因素的限制，是现在复杂电子系统以及高功率电路模块普遍采用的散热技术。在高可靠性领域，一般采用乙二醇或者其混合液作为液冷散热器的介质；由于乙二醇在中高温条件下容易分解产生酸、碱性物质，会对液冷冷板产生腐蚀，导致液冷冷板使用过程中出现漏液、机械强度降低等现象，严重影响电子装备的工作可靠性以及长期使用寿命。

铝制液冷散热器冷板目前采用铸造、3D打印或者焊接的方法成形，目前可采用磨粒流抛光技术对液冷冷板内流道的缺陷进行处理，使冷板内壁比较光滑，但仍然不能满足冷板内流道表面镀覆处理的洁净度要求、微观化学状态一致性要求。从目前公开发表的论文及专利情况来看，还没有针对液冷冷板镀覆前表面状态的处理技术,大多技术方案都是着重在冷板内流道机械加工缺陷如毛刺、粗糙度精度提高的研究上,没有考虑实际产品的洁净度要求和微观化学状态一致性。大多数文献都是进行冷板内流道机械加工缺陷消除技术的研究，如文献“典型增材制造零件磨粒流加工性能研究”揭示了复杂零件大长径比微小内流道加工的可达性问题；“软性磨粒流加工特性及近壁区域微切削机理”研究了磨粒对汽车模型壁的微切削机理，并建立了相关的数学模型，均没有考虑产品镀覆前的洁净度、微观化学状态一致性要求。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供了一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，解决现有技术存在的复杂微波电路液冷冷板内流道表面质量的一致性差等问题。

本发明解决上述问题所采用的技术方案是：

一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，包括以下步骤：

S1，对冷板内流道进行抛光处理；

S2，对冷板内流道进行除油腐蚀处理；

S3，对冷板内流道进行酸蚀处理。

作为一种优选的技术方案，步骤S1中，采用粒径为10～20μm的碳化硅基磨粒流体抛光处理冷板内流道，流体粘度为1～50cP。

作为一种优选的技术方案，步骤S1中，采用的碳化硅基磨粒流体粘度为1～50cP。

作为一种优选的技术方案，步骤S1中，抛光处理时间为2h以上。

作为一种优选的技术方案，步骤S2中，除油腐蚀处理采用的物质及其份量为：NaOH-80、100g/L，Na₂CO₃、20～30g/L，Na₃PO₄·12H₂O、30～40g/L，OP-10乳化剂、1～5g/L；处理温度为60～80℃。

作为一种优选的技术方案，步骤S2中，除油腐蚀处理时间为1～3min。