[发明专利]一种液冷冷板内流道表面质量控制方法在审
| 申请号： | 202210261972.0 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN114635136A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 仝晓刚;雷涛 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十研究所 |
| 主分类号： | C23F1/36 | 分类号： | C23F1/36;C23G1/22;C23F1/46;C23F1/20;B24C1/08;B24C3/32 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 黎飞 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 冷冷 内流 表面 质量 控制 方法 | ||
1.一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，对冷板内流道进行抛光处理；
S2，对冷板内流道进行除油腐蚀处理；
S3，对冷板内流道进行酸蚀处理。
2.根据权利要求1所述的一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，其特征在于，步骤S1中，采用粒径为10～20μm的碳化硅基磨粒流体抛光处理冷板内流道。
3.根据权利要求2所述的一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，其特征在于，步骤S1中，采用的碳化硅基磨粒流体粘度为1～50cP。
4.根据权利要求3所述的一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，其特征在于，步骤S1中，抛光处理时间为2h以上。
5.根据权利要求4所述的一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，其特征在于，步骤S2中，除油腐蚀处理采用的物质及其份量为：NaOH-80、100g/L，Na2CO3、20～30g/L，Na3PO4·12H2O、30～40g/L，OP-10乳化剂、1～5g/L；处理温度为60～80℃。
6.根据权利要求5所述的一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，其特征在于，步骤S2中，除油腐蚀处理时间为1～3min。
7.根据权利要求1至6任一项所述的一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，其特征在于，步骤S3中，酸蚀处理采用的物质及其配比为：60％浓度HNO3、70％～90％，40％浓度HF、10％～30％。
8.根据权利要求7所述的一种液冷冷板内流道表面质量控制方法，其特征在于，步骤S3中，酸蚀处理时间＜60s。
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