[发明专利]一种晶圆贴膜机

权利要求书

1.一种晶圆贴膜机，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的上部固定安装有防护框(7)，所述工作台(1)的底部固定安装有推料机构(2)，所述工作台(1)的上部固定安装有第一转运机构(3)，所述工作台(1)上固定安装有移动机构(4)，所述工作台(1)上固定安装有贴膜机构(5)，所述防护框(7)的下部设有第二转运机构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述推料机构(2)包括有固定安装在所述工作台(1)底部的放料框(201)，所述放料框(201)内的底端固定安装有第一伺服电缸(202)，所述第一伺服电缸(202)的输出端固定连接有活动处于所述放料框(201)内部的支撑板(203)，所述工作台(1)上开设有出料口(204)，所述出料口(204)与所述支撑板(203)相适配。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述第一转运机构(3)包括有固定安装在所述工作台(1)上的第一滑轨(301)，所述第一滑轨(301)上滑动连接有滑动框(302)，所述滑动框(302)上固定安装有第一支撑台(303)，所述第一支撑台(303)的一侧固定安装有第二支撑台(304)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述工作台(1)上固定安装有第一伺服电机(305)，所述第一伺服电机(305)的输出端连接有第一丝杆(306)，所述第一丝杆(306)与所述滑动框(302)的一侧螺纹连接，所述工作台(1)上焊接有轴承座(307)，所述第一丝杆(306)的一端连接在所述轴承座(307)的内部。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述第二支撑台(304)的一侧固定连接有固定杆(308)，所述固定杆(308)通过两个连接块(309)固定连接有固定盘(310)，所述固定盘(310)上设有调节板(311)，所述调节板(311)的内部开设有调节槽(312)，所述调节槽(312)通过紧固螺栓(314)连接有第一吸附板(313)，所述第一吸附板(313)的端部固定连接有第一吸盘(315)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述移动机构(4)包括有固定安装在所述工作台(1)上的两个第二滑轨(401)，两个所述第二滑轨(401)内开设有第一滑槽(402)，所述工作台(1)上的两个所述第二滑轨(401)之间设有第二伺服电机(403)，所述第二伺服电机(403)的输出端设有第二丝杆(404)，所述第二滑轨(401)的上部设有载物台(405)，所述载物台(405)的上部开设有载物槽(406)，所述载物台(405)的底部固定安装有两个第一滑块(407)，两个所述第一滑块(407)分别处于所述第一滑槽(402)的内部，所述第二丝杆(404)通过连接块螺纹连接在所述载物台(405)的底端。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述贴膜机构(5)包括有固定安装在所述工作台(1)上的立板(501)，所述立板(501)上转动连接有输膜辊(502)、两个导向辊(503)和收膜辊(504)，所述立板(501)的一侧固定安装有第三伺服电机(511)和第四伺服电机(512)，所述第三伺服电机(511)的输出端与所述输膜辊(502)固定连接，所述第四伺服电机(512)的输出端与所述收膜辊(504)固定连接，所述输膜辊(502)、两个所述导向辊(503)和所述收膜辊(504)的另一端转动连接在所述防护框(7)侧壁。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述立板(501)和所述防护框(7)的一侧分别固定安装有移动框(505)，所述移动框(505)的侧边开设有调节槽(506)，所述调节槽(506)的内部底端固定安装有弹簧(507)，所述弹簧(507)的顶端连接有活动处于所述调节槽(506)内的移动块(508)，两个所述移动块(508)之间转动连接有压辊(510)，所述移动框(505)的上端固定安装有第三伺服电缸(509)，所述第三伺服电缸(509)的输出端贯穿所述移动框(505)连接在所述移动块(508)上。