[发明专利]低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置在审

专利信息
申请号: 202210233471.1 申请日: 2022-03-10
公开(公告)号: CN114927453A 公开(公告)日: 2022-08-19
发明(设计)人: 周德金;刘桂芝;许剑 申请(专利权)人: 清华大学无锡应用技术研究院;无锡麟力科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/687;H01L21/66;H01L21/67;B08B5/04
代理公司: 无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492 代理人: 王普慧
地址: 214000 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 功耗 屏蔽 半导体 功率 器件 测试 装置
【权利要求书】:

1.低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置,包括测试台(1),支撑柱(2),底板(3),第一支撑板(4),斜T型滑槽(5),控制箱(6),可滑动插接防护座结构(7),可复位检测移动座结构(8),可转动除尘降温罩结构(9),倒L型遮挡板(10),检测模块(11),吸尘器(12),连接管(13),可支撑防晃定位架结构(14),滑槽(15),滑孔(16)和固定座(17),所述的测试台(1)的下端四角位置分别螺栓连接有支撑柱(2);所述的支撑柱(2)之间的下部螺栓连接有底板(3);所述的测试台(1)的上端后面中间位置螺栓连接有第一支撑板(4);所述的第一支撑板(4)的正表面上部开设有斜T型滑槽(5);所述的第一支撑板(4)的上端右侧螺栓连接有控制箱(6);所述的倒L型遮挡板(10)从左到右依次螺栓连接在测试台(1)的上端;所述的检测模块(11)安装在可复位检测移动座结构(8)的下端;所述的吸尘器(12)螺栓连接在底板(3)的上端中间位置;所述的吸尘器(12)的左右两侧中间位置下部螺纹连接有连接管(13);所述的第一支撑板(4)的上端左侧螺栓连接有固定座(17);所述的固定座(17)的上端内部中间位置开设有滑槽(15);所述的固定座(17)的正表面下部和后表面下部分别开设有滑孔(16);其特征在于,该低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置中所述的可滑动插接防护座结构(7)分别设置在测试台(1)的上端左右两侧;所述的可复位检测移动座结构(8)安装在斜T型滑槽(5)的内部;所述的可转动除尘降温罩结构(9)分别安装在测试台(1)的左右两侧内部中间位置;所述的可支撑防晃定位架结构(14)安装在固定座(17)的上端内部;所述的可滑动插接防护座结构(7)包括插接座(71),推拉杆(72),插接腔(73),防护垫(74),固定腔(75)和支撑轮(76),所述的插接座(71)的正表面下部中间位置螺栓连接有推拉杆(72);所述的插接座(71)的上端内部中间位置开设有插接腔(73);所述的插接腔(73)的内部底端胶接有防护垫(74);所述的插接座(71)的下端内部中间位置开设有固定腔(75);所述的固定腔(75)的内部销轴连接有支撑轮(76)。

2.如权利要求1所述的低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置,其特征在于,所述的可复位检测移动座结构(8)包括滑动座(81),第二支撑板(82),防护罩(83),按压管(84),复位弹簧(85)和阿检测座(86),所述的滑动座(81)的正表面左右两侧中间位置分别螺栓连接有第二支撑板(82);所述的第二支撑板(82)螺栓连接在防护罩(83)的内壁中间位置上部;所述的第二支撑板(82)的内部中间位置贯穿有按压管(84);所述的复位弹簧(85)的上端螺栓连接在第二支撑板(82)的下端;所述的按压管(84)的下端螺栓连接有阿检测座(86)。

3.如权利要求1所述的低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置,其特征在于,所述的可转动除尘降温罩结构(9)包括第一固定管(91),调节阀门(92),第二固定管(93),金属软管(94)和吸尘罩(95),所述的第一固定管(91)的右侧上部螺纹插接有调节阀门(92);所述的第一固定管(91)的上端螺纹连接在第二固定管(93)的下端右侧;所述的第二固定管(93)的左端外壁螺纹连接有金属软管(94);所述的金属软管(94)的左端螺栓连接在吸尘罩(95)的右侧中间位置。

4.如权利要求1所述的低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置,其特征在于,所述的可支撑防晃定位架结构(14)包括支撑架(141),第一挂接杆(142),第二挂接杆(143),顶紧螺栓(144)和倒T型滑动座(145),所述的支撑架(141)的上端右侧螺栓连接有第一挂接杆(142);所述的支撑架(141)的上端左侧螺栓连接有第二挂接杆(143);所述的第二挂接杆(143)的正表面上部中间位置螺纹连接有顶紧螺栓(144);所述的第二挂接杆(143)的后端螺栓连接有倒T型滑动座(145)。

5.如权利要求1所述的低功耗的屏蔽栅半导体功率器件测试装置,其特征在于,所述的插接座(71)滑动插接在倒L型遮挡板(10)之间;所述的支撑轮(76)的下端与测试台(1)的上端接触设置。

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