[发明专利]尺寸可控的超薄高品质回音壁光学晶体微腔制备方法和定心装置

权利要求书

1.一种回音壁光学晶体微腔制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

将晶体材料切割成第一厚度的晶体圆片，并用抛光盘研磨晶体圆片的双端面，使晶体圆片的厚度减薄至第二厚度，得到光学晶体微腔坯料；

将所述光学晶体微腔坯料置于定心装置中显微镜的载物台上，调节载物台的二维调节旋钮，使光学晶体微腔坯料中心和显微镜物镜测微尺的原点重合；

将预先调节好的装夹杆固定架置于所述显微镜载物台的预先标定的固定位置，所述装夹杆固定架固定支撑的顶端位置具有竖直通孔，装夹杆贯穿所述竖直通孔且在底端粘附有紫外线固化胶，所述固定位置使得所述装夹杆在竖直方向上与显微镜物镜测微尺的原点对齐；

调整装夹杆高度使得所述紫外线固化胶接触所述光学晶体微腔坯料从而将所述光学晶体微腔坯料定心粘贴固定在装夹杆底端；

利用紫外线使所述紫外线固化胶固化并将所述装夹杆从装夹杆固定架取下，对装夹杆底部的光学晶体微腔坯料外圆进行预定角度的倒角处理，得到光学晶体微腔片；

利用砂纸对光学晶体微腔片外圆表面进行研磨；

采用化学抛光和机械抛光相结合的方式对所述光学晶体微腔片进行抛光处理，并基于抛光处理后的光学晶体微腔片得到光学晶体微腔。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述晶体材料为铌酸锂或氟化钙；

所述方法还包括：

在对所述光学晶体微腔坯料外圆进行预定角度的倒角处理后或利用砂纸对光学晶体微腔片外圆表面进行研磨前，将粘附有光学晶体微腔片的装夹杆置于真空环境中，进行退火处理；

在对所述光学晶体微腔片进行抛光处理后，将粘附有光学晶体微腔片的装夹杆置于真空环境中进行退火处理。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述第一厚度为1mm，所述第二厚度为0.1-0.5mm；

所述预定角度的倒角处理为30度倒角处理。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述装夹杆固定架包括：方形底座边框；多根支撑杆，各支撑杆的一端固定于所述底座边框的各角部，另一端支撑所述竖直通孔；所述方形底座边框与所述显微镜的底座紧密配合或对齐。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述装夹杆固定架通过设置在显微镜的底座上的限位部或标记点进行定位来置于与载物台预先标定的固定位置，使得所述装夹杆在竖直方向上与显微镜物镜测微尺的原点对齐。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述化学抛光所采用的抛光剂包括氧化铈抛光液、氧化铝抛光液、抛光液、抛光膏中的一种或多种。

7.一种利用如权利要求1-6中任意一项所述的方法制备的回音壁光学晶体微腔。

8.一种用于回音壁光学晶体微腔制备的定心装置，其特征在于，所述定心装置包括：显微镜和装夹杆固定架；

所述装夹杆固定架固定支撑的顶端位置具有竖直通孔，装夹杆贯穿所述竖直通孔且在底端用于粘附紫外线固化胶；

在所述装夹杆固定架置于所述显微镜载物台的预先标定的固定位置的情况下，所述固定位置使得所述装夹杆在竖直方向上与显微镜物镜测微尺的原点对齐；

所述装夹杆在所述竖直通孔中的位置可上下调整，在所述装夹杆固定架下部放置有预先定位为与所述显微镜物镜测微尺的原点重合的情况下，通过使得装夹杆底部的紫外线固化胶接触所述光学晶体微腔坯料而将所述光学晶体微腔坯料定心粘贴固定在装夹杆底端，以便对所述光学晶体微腔坯料进行倒角、研磨和抛光处理而得到回音壁光学晶体微腔。

9.根据权利要求8所述的定心装置，其特征在于，所述装夹杆固定架包括：方形底座边框；多根支撑杆，各支撑杆的一端固定于所述底座边框的各角部，另一端支撑所述竖直通孔；所述方形底座边框与所述显微镜的底座紧密配合或对齐。

10.根据权利要求8所述的定心装置，其特征在于，所述装夹杆固定架通过设置在显微镜的底座上的限位部或标记点进行定位来置于与载物台预先标定的固定位置，使得所述装夹杆在竖直方向上与显微镜物镜测微尺的原点对齐。