[发明专利]下垂罩板及带有该下垂罩板的PECVD设备

说明书

本发明公开了一种下垂罩板及带有该下垂罩板的PECVD设备，属于PECVD设备技术领域。本发明的下垂罩板，第一绝缘框设置在底板框上，第二绝缘框设置在第一绝缘框上；底板框由若干个底板连接形成，底板的下侧面设置有延伸部，延伸部与底板的下侧面相互垂直，第一绝缘框由若干个第一绝缘板拼合形成，第二绝缘框由若干个第二绝缘板拼合形成；底板的上侧面与第一绝缘板的下侧面之间，以及第一绝缘板的上侧面与第二绝缘板的下侧面之间，形成有若干个连通底板框内外两侧的条形孔，条形孔在底板框厚度方向上的高度为1‑20mm；本实施方式的下垂罩板能够极大程度地提高真空镀膜工艺的加工效率和良品率。

技术领域

本发明涉及PECVD设备技术领域，更具体地说，涉及一种下垂罩板及带有该下垂罩板的PECVD设备。

背景技术

利用PECVD设备对太阳能电池板进行真空镀膜的工艺中，承载有电池板的载板经动态传输进入工艺腔室中后，采用静态镀膜的方式完成加工。其中，载板通常停留在PECVD设备的阴极下部，载板和阴极之间缝隙作为气体流通的通道；当使用SiH4等离子体辉光放电时，罩板和阴极之间会出现辉光不稳定的现象，大量粒子团簇聚集，从而形成黄色的固体粉末，即黄粉。

在真空镀膜工艺中，真空泵将气体及黄粉通过载板和阴极之间的通道抽走时，黄粉不可避免的会落在腔体、载板及罩板上。同时，由于载板通常需要循环使用，就会使载板上积累的黄粉过多，导致生产周期变短。此外，由于罩板上也有黄粉，积累后掉落到产品上，降低产品良率。

在现有技术中，通过设置多个排气孔的方式，快速排走反应后的气体，仅能较小程度地避免黄粉的产生，且不能及时地将产生的黄粉清除，在载板循环使用次数到达一定数值时，仍会产生黄粉积留的情况，从而降低加工效率和良品率。

发明内容

1.发明解决的技术问题

本发明的目的在于克服现有技术中PECVD设备进行真空镀膜加工时，容易产生黄粉堆积而降低加工效率和良品率的不足，提供一种下垂罩板及带有该下垂罩板的PECVD设备，旨在避免工艺腔室内黄粉的积存，以提高加工效率和良品率。

2.技术方案

为达到上述目的，本发明提供的技术方案为：

本发明的一种下垂罩板，包括底板框、第一绝缘框和第二绝缘框，所述第一绝缘框设置在所述底板框上，所述第二绝缘框设置在第一绝缘框上；所述底板框由若干个底板连接形成，所述底板的下侧面设置有延伸部，所述延伸部与所述底板的下侧面相互垂直，所述第一绝缘框由若干个第一绝缘板拼合形成，所述第二绝缘框由若干个第二绝缘板拼合形成；所述底板的上侧面与所述第一绝缘板的下侧面之间，以及所述第一绝缘板的上侧面与所述第二绝缘板的下侧面之间，形成有若干个连通所述底板框内外两侧的条形孔，所述条形孔在所述底板框厚度方向上的高度为1-20mm。

进一步地，所述第二绝缘框的内侧边与所述第一绝缘框的内侧边齐平，所述第二绝缘框的外侧边与所述第一绝缘框的外侧边齐平；所述第一绝缘框的内侧边突出于所述底板框的内侧边设置，所述底板框的外侧边突出于所述第一绝缘框的外侧边设置。

进一步地，所述第一绝缘板的位置与所述第二绝缘板的位置相对应，且处于对应位置的所述第一绝缘板和第二绝缘板之间形成有所述的条形孔。

进一步地，所述第一绝缘板的上侧面设置有若干个上凸部，所述第二绝缘板的下侧面上与所述上凸部对应的位置设置有下凸部，在同一所述第一绝缘板中，相邻的两个上凸部之间形成有所述的条形孔。

进一步地，所述第一绝缘板的上侧面设置有第一上凸部、第二上凸部和第三上凸部，所述第二上凸部位于所述第一上凸部和第三上凸部之间，所述第二绝缘板的下侧面上设置有分别与所述第一上凸部、第二上凸部和第三上凸部对应的第一下凸部、第二下凸部和第三下凸部；所述第一上凸部和第二上凸部之间形成有第一条形孔，所述第二上凸部与第三上凸部之间形成有第二条形孔。