[发明专利]下垂罩板及带有该下垂罩板的PECVD设备

权利要求书

1.一种下垂罩板，设置在PECVD设备的工艺腔室中，且下垂罩板的底板固定在PECVD设备的阴极上；其特征在于：包括底板框、第一绝缘框和第二绝缘框，所述第一绝缘框设置在所述底板框上，所述第二绝缘框设置在第一绝缘框上；所述底板框由若干个底板连接形成，所述底板的下侧面设置有延伸部，所述延伸部与所述底板的下侧面相互垂直，所述第一绝缘框由若干个第一绝缘板拼合形成，所述第二绝缘框由若干个第二绝缘板拼合形成；所述底板的上侧面与所述第一绝缘板的下侧面接触，以及所述第一绝缘板的上侧面与所述第二绝缘板的下侧面接触，从而形成有若干个连通所述底板框内外两侧的条形孔，所述条形孔在所述底板框厚度方向上的高度为1-20mm。

2.根据权利要求1所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第二绝缘框的内侧边与所述第一绝缘框的内侧边齐平，所述第二绝缘框的外侧边与所述第一绝缘框的外侧边齐平；所述第一绝缘框的内侧边突出于所述底板框的内侧边设置，所述底板框的外侧边突出于所述第一绝缘框的外侧边设置。

3.根据权利要求1所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第一绝缘板的位置与所述第二绝缘板的位置相对应，且处于对应位置的所述第一绝缘板和第二绝缘板之间形成有所述的条形孔。

4.根据权利要求3所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第一绝缘板的上侧面设置有若干个上凸部，所述第二绝缘板的下侧面上与所述上凸部对应的位置设置有下凸部，在同一所述第一绝缘板中，相邻的两个上凸部之间形成有所述的条形孔。

5.根据权利要求4所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第一绝缘板的上侧面设置有第一上凸部、第二上凸部和第三上凸部，所述第二上凸部位于所述第一上凸部和第三上凸部之间，所述第二绝缘板的下侧面上设置有分别与所述第一上凸部、第二上凸部和第三上凸部对应的第一下凸部、第二下凸部和第三下凸部；所述第一上凸部和第二上凸部之间形成有第一条形孔，所述第二上凸部与第三上凸部之间形成有第二条形孔。

6.根据权利要求5所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第一上凸部的左侧面突出于所述第一下凸部的左侧面设置，所述第三下凸部的右侧面突出于所述第三上凸部的右侧面设置。

7.根据权利要求6所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述底板上与所述第二上凸部对应的位置处设置有第一凸起，所述底板上与所述第一上凸部和第三上凸部对应的位置处开设有第二凸起，所述第一凸起和第二凸起之间形成有第三条形孔。

8.根据权利要求7所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述第一绝缘板在第二上凸部的位置处开设有第一固定孔，所述第二绝缘板在第二下凸部的位置处开设有第二固定孔，所述底板在第一凸起上开设有连接孔，利用紧固件穿过所述第二固定孔和所述第一固定孔后，与所述连接孔连接，以将所述第一绝缘板和第二绝缘板固定在所述底板上。

9.根据权利要求7所述的一种下垂罩板，其特征在于：所述底板框上连接有至少一个固定板，所述固定板的左右两侧中的一侧设置有压紧部，所述固定板的左右两侧中的另一侧设置有支撑部，所述压紧部用于压紧所述第一上凸部的左侧面突出于所述第一下凸部的左侧面的部分，所述支撑部被所述第三下凸部的右侧面突出于所述第三上凸部的右侧面的部分压紧。

10.一种下垂罩板，设置在PECVD设备的工艺腔室中，且下垂罩板的底板固定在PECVD设备的阴极上；其特征在于：包括底板框、绝缘框，所述绝缘框设置在所述底板框上；所述底板框由若干个底板连接形成，所述底板的下侧面设置有延伸部，所述延伸部与所述底板的下侧面相互垂直，所述绝缘框由若干个绝缘板拼合形成；所述底板的上侧面与所述绝缘板的下侧面接触，所述绝缘板一体成型加工，且所述绝缘板的内部形成有若干个连通所述底板框内外两侧的条形孔，所述条形孔在所述底板框厚度方向上的高度为1-20mm。

11.一种PECVD设备，其特征在于：包括权利要求1～10中任一项所述的下垂罩板。