[发明专利]导电结构及其制造方法有效
| 申请号: | 202210202906.6 | 申请日: | 2022-03-02 |
| 公开(公告)号: | CN114613741B | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
| 发明(设计)人: | 陈秉扬;陈俊铭;陈志源 | 申请(专利权)人: | 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;业成光电(无锡)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L21/768 |
| 代理公司: | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人: | 张行知 |
| 地址: | 611730 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 导电 结构 及其 制造 方法 | ||
一种导电结构包含基板、两抗反射层、两导电干膜、导电连通柱以及两黑化层。两抗反射层分别位于基板之相反两表面上,且两相反表面各暴露出一部分。两导电干膜分别设置于两抗反射层远离基板的一侧。导电连通柱穿越基板,并具有两端分别延伸至两导电干膜。两黑化层分别覆盖两导电干膜,其中两导电干膜的每一者由对应之抗反射层与对应之黑化层包覆。藉由本揭露的导电结构,即可达成金属细线路、无反射光以及无层间叠片刮伤的功效。
技术领域
本揭露系有关于一种导电结构及其制造方法,尤其是一种用于透明显示器的通孔搭接结构及其制造方法。
背景技术
现行透明显示器的通孔搭接结构多使用钻孔、化镀以及电镀填孔搭配图案化制程的生产流程。透明显示器的需求主要为双面导电层,并增厚表面金属铜层以降低金属阻抗,且藉由通孔化镀制程使正反双面导电层(例如:金属层)经由通孔进行电性搭接以导通。
由于现行透明显示器普遍为双面导电层,且利用电镀制程增厚导电层(例如:金属铜层)降低金属阻抗,并利用化镀制程进行通孔与正反金属层电性导通。然而,为了达到金属层的增厚需求,业界普遍使用两次电镀制程,且电镀前底层需先行溅镀一层导电性佳之金属膜作为导电触媒,故底层金属将存在视效反光的问题。除此之外,现行透明显示器的通孔搭接结构多使用钻孔之后加上化镀的制程,其制程工序上较为繁琐,且钻孔时因使用叠片钻孔技术,此将间接导致层间摩擦并造成刮伤风险,进而影响透明显示器的品质。
因此,如何提出一种可以解决上述问题的导电结构,是目前业界亟欲投入研发资源解决的问题之一。
发明内容
有鉴于此,本揭露之一目的在于提出一种可有解决上述问题的导电结构。
为了达到上述目的,依据本揭露之一实施方式,一种导电结构包含基板、两抗反射层、两导电干膜、导电连通柱以及两黑化层。两抗反射层分别位于基板之相反两表面上,且相反两表面各暴露出一部分。两导电干膜分别设置于两抗反射层远离基板的一侧。导电连通柱穿越基板,并具有两端分别延伸至两导电干膜。两黑化层分别覆盖两导电干膜,其中两导电干膜的每一者由对应之抗反射层与对应之黑化层包覆。
于本揭露的一或多个实施方式中,基板之材料包含聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、环烯烃聚合物(COP)、透明聚酰亚胺(CPI)、聚酰亚胺(PI)以及聚偏二氟乙烯(PVDF)。
于本揭露的一或多个实施方式中,两抗反射层于一方向上部分重叠。
于本揭露的一或多个实施方式中,两抗反射层之光学密度大于4。
于本揭露的一或多个实施方式中,两抗反射层之材料包含油墨、碳、氧化铜、铬以及黑镍。
于本揭露的一或多个实施方式中,两导电干膜于一方向上部分重叠。
于本揭露的一或多个实施方式中,两导电干膜完全覆盖导电连通柱。
于本揭露的一或多个实施方式中,两导电干膜之厚度大于10微米。
于本揭露的一或多个实施方式中,导电连通柱系实心填充结构。
于本揭露的一或多个实施方式中,导电连通柱贯穿两抗反射层。
于本揭露的一或多个实施方式中,导电连通柱之材料包含银、铜以及碳。
于本揭露的一或多个实施方式中,每一导电干膜面向基板的一表面系由对应的抗反射层所覆盖,且每一导电干膜的其余表面系由对应之黑化层所覆盖。
依据本揭露之一实施方式,一种导电结构的制造方法包含:分别形成两抗反射层于基板之相反两表面上;分别形成两虚设绝缘材料层于两抗反射层上;形成通孔穿越两虚设绝缘材料层、基板与两抗反射层;去除两虚设绝缘材料层;形成导电连通柱于通孔,且导电连通柱完全填充通孔;分别形成两导电干膜位于两抗反射层上,以完全覆盖导电连通柱;图案化两导电干膜;以及分别形成两黑化层包覆两导电干膜。
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