[发明专利]缺陷检查方法及缺陷检查装置

权利要求书

1.一种缺陷检查方法，是具有被检偏振片的光学膜的缺陷检查方法，

所述缺陷检查方法使用具有第1偏振片的第1滤光片、具有第2偏振片的第2滤光片以及光源，且具有：

配置工序，依次地并且满足下述的条件a1及条件a2地配置所述第1滤光片、所述光学膜以及所述第2滤光片：

(a1)所述第1偏振片的吸收轴与所述被检偏振片的吸收轴所成的角度θ1为90°±5°的范围内，

(a2)所述被检偏振片的吸收轴与所述第2偏振片的吸收轴所成的角度θ2为90°±35°的范围内；

检测工序，其为下述的工序b1或工序b2：

(b1)检测从所述光源照射、并依次地透过所述第1滤光片、所述光学膜以及所述第2滤光片的光的工序，或

(b2)检测从所述光源照射、并依次地透过所述第2滤光片、所述光学膜以及所述第1滤光片的光的工序；以及

判断工序，基于所述检测工序中的检测结果，判断所述光学膜的缺陷。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查方法，其中，

所述光学膜还具有包含聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂的防护膜，

所述防护膜的取向轴与所述被检偏振片的吸收轴所成的角度为0°±30°的范围内，

在所述配置工序中，

以使所述防护膜的与所述被检偏振片侧相反的一侧的表面位于所述第2滤光片侧的方向、并且使所述防护膜的取向轴与所述第2偏振片的吸收轴所成的角度为90°±5°的范围内的方式配置所述光学膜，

所述检测工序利用所述工序b1进行。

3.根据权利要求1所述的缺陷检查方法，其中，

所述光学膜还具有包含聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂的防护膜，

所述防护膜的取向轴与所述被检偏振片的吸收轴所成的角度为90°±30°的范围内，

在所述配置工序中，

以使所述防护膜的与所述被检偏振片侧相反的一侧的表面位于所述第2滤光片侧的方向、并且使所述防护膜的取向轴与所述第2偏振片的吸收轴所成的角度为0°±5°的范围内的方式配置所述光学膜，

所述检测工序利用所述工序b1进行。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的缺陷检查方法，其中，

所述被检偏振片包含聚合性液晶化合物的固化物。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的缺陷检查方法，其中，

所述光学膜还具有λ/4相位差层，

在所述检查方法中，所述第1滤光片使用具有λ/4相位差层的滤光片，

在所述配置工序中，将所述光学膜和所述第1滤光片以使彼此的λ/4相位差层不夹隔着所述被检偏振片及所述第1偏振片地相面对的方向配置。

6.一种缺陷检查装置，是具有被检偏振片的光学膜的缺陷检查装置，

所述缺陷检查装置具备具有第1偏振片的第1滤光片、具有第2偏振片的第2滤光片以及光源，

所述第1滤光片、所述光学膜以及所述第2滤光片被依次配置为满足下述的条件a1及条件a2：

(a1)所述第1偏振片的吸收轴与所述被检偏振片的吸收轴所成的角度θ1为90°±5°的范围内；

(a2)所述被检偏振片的透射轴与所述第2偏振片的吸收轴所成的角度θ2为90°±35°的范围内，

所述光源被配置为满足下述的条件b1或条件b2：

(b1)从所述光源照射的光依次透过所述第1滤光片、所述光学膜以及所述第2滤光片；

(b2)从所述光源照射的光依次透过所述第2滤光片、所述光学膜以及所述第1滤光片。