[发明专利]柔性基材镀膜装置以及镀膜方法在审
| 申请号: | 202210192537.7 | 申请日: | 2022-02-28 |
| 公开(公告)号: | CN114411111A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
| 发明(设计)人: | 程毅;周高阳;李学法;张国平 | 申请(专利权)人: | 江阴纳力新材料科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/58 |
| 代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 胡哲 |
| 地址: | 214446 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性 基材 镀膜 装置 以及 方法 | ||
1.一种柔性基材镀膜装置,其特征在于,包括真空室、隔板、放卷辊、加热件、镀膜辊、施镀件以及收卷辊,所述隔板位于所述真空室内以用于将所述真空室分隔为加热室和镀膜室;所述隔板上设有第一通孔和第二通孔,所述第一通孔用于供基材自所述加热室传输至所述镀膜室,所述第二通孔用于供基材自所述镀膜室传输至所述加热室;
所述放卷辊、所述加热件以及所述收卷辊位于所述加热室,所述放卷辊用于对基材放卷,所述加热件用于加热所述加热室内的基材,所述收卷辊用于对基材收卷;
所述镀膜辊和所述施镀件位于所述镀膜室,所述施镀件靠近所述镀膜辊以用于对所述镀膜辊表面的基材施镀,进而在基材表面形成薄膜镀层。
2.如权利要求1所述的柔性基材镀膜装置,其特征在于,还包括冷却件,所述冷却件位于所述镀膜室,所述冷却件用于冷却所述镀膜室内的水蒸气。
3.如权利要求2所述的柔性基材镀膜装置,其特征在于,还包括镀膜挡板,所述镀膜挡板位于所述镀膜室的内部且设于所述镀膜辊和所述施镀件之间,所述镀膜挡板上设有镀膜开口,所述镀膜辊位于所述镀膜开口处,所述施镀件形成的镀层材料自所述镀膜开口处逸出至所述镀膜辊上的基材表面。
4.如权利要求3所述的柔性基材镀膜装置,其特征在于,在从所述镀膜辊到所述施镀件的方向上,所述镀膜开口的口径逐渐增大。
5.如权利要求3所述的柔性基材镀膜装置,其特征在于,所述镀膜挡板将所述镀膜室分隔为冷却室和施镀室,所述冷却件位于所述冷却室内,所述施镀件位于所述施镀室内。
6.如权利要求1所述的柔性基材镀膜装置,其特征在于,所述加热件为中空加热管,所述中空加热管内装有加热介质。
7.如权利要求1~6中任一项所述的柔性基材镀膜装置,其特征在于,还包括加热辊,所述加热辊位于所述加热室,所述加热辊位于所述镀膜辊和所述收卷辊之间以用于加热镀膜之后、收料之前的基材。
8.一种柔性基材镀膜方法,其特征在于,采用权利要求1~7中任一项所述的柔性基材镀膜装置,所述柔性基材镀膜方法包括如下步骤:
通过所述放卷辊对基材放卷,使基材依次穿过所述第一通孔、所述镀膜辊、所述第二通孔,然后通过所述收卷辊对基材收卷。
9.如权利要求8所述的柔性基材镀膜方法,其特征在于,通过所述加热件控制所述加热室内的基材的温度为20℃-100℃。
10.如权利要求8所述的柔性基材镀膜方法,其特征在于,控制所述镀膜辊表面的基材的温度为-30℃~30℃;和/或,
所述柔性基材镀膜装置还包括加热辊,所述加热辊位于所述加热室,所述加热辊位于所述镀膜辊和所述收卷辊之间,控制所述加热辊表面的基材的温度为30℃-120℃。
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