[发明专利]一种ICP雾化室的清洗装置及清洗方法

权利要求书

1.一种ICP雾化室的清洗装置，其特征在于所述的清洗装置包括ICP雾化室（1）、过滤器（2）、溶液槽（3）和循环泵（4），该ICP雾化室（1）具有进样端（11）、出样端（12）和废液端（13），该过滤器（2）具有过滤进口（21）和过滤出口（22），该溶液槽（3）具有溶液进口（31）和溶液出口（32）；所述ICP雾化室（1）的出样端（12）和废液端（13）合并连通过滤器（2）的过滤进口（21），过滤器（2）的过滤出口（22）连通溶液槽（3）的溶液进口（31），溶液槽（3）的溶液出口（32）连通循环泵（4）后，再连通ICP雾化室（1）的进样端（11）。

2.根据权利要求1所述的一种ICP雾化室的清洗装置，其特征在于所述的溶液槽（3）为清洗溶液槽或超纯水槽。

3.根据权利要求1所述的一种ICP雾化室的清洗装置，其特征在于所述的ICP雾化室（1）与过滤器（2）之间设有转换三通（5），该转换三通具有第一端口（51）、第二端口（52）和第三端口（53）；所述ICP雾化室（1）的出样端（12）和废液端（13）分别连通转换三通（5）的第一端口（51）和第二端口（52）；所述的转换三通（5）的第三端口（53）连通过滤器（2）的过滤进口（21）。

4.根据权利要求3所述的一种ICP雾化室的清洗装置，其特征在于所述的进样端（11）与循环泵（4）之间、出样端（12）与第一端口（51）之间、废液端（13）与第二端口（52）之间均设有相连通的连接管（6），该连接管为耐酸腐蚀的聚四氟乙烯软管。

5.根据权利要求1所述的一种ICP雾化室的清洗装置，其特征在于所述的过滤器（2）内设有含0.22μm的高分子微孔过滤膜。

6.根据权利要求1所述的一种ICP雾化室的清洗装置，其特征在于所述的转换三通（5）的第一端口（51）、第二端口（52）和第三端口（53）内分别设有独立控制启闭的阀门。

7.根据权利要求2所述的一种ICP雾化室的清洗装置，其特征在于所述的清洗溶液槽内装有质量浓度为2%~10%的稀硝酸，超纯水槽内装有超纯水。

8.根据权利要求1所述的一种ICP雾化室的清洗装置，其特征在于所述的循环泵（4）转动速度为60rpm~100rpm。