[发明专利]X射线检查装置以及X射线检查方法

说明书

提供X射线检查装置以及X射线检查方法，X射线检查装置(1、11)具有X射线源(10)、X射线照相机(20)和保持检查对象的保持部(40)，X射线源、X射线照相机、保持部中的任意方作为旋转部进行旋转运动，而取得检查对象的三维图像并检查，旋转部在多个场所依次进行旋转运动，并且从一个旋转运动的旋转结束点向下一个旋转运动的旋转开始点沿着作为将各旋转圆在旋转结束点和旋转开始点处平滑地连结的轨迹的特定移动轨迹移动，下一个旋转运动的旋转开始点被计算为以配置于下一个旋转运动的旋转圆上的方式设定的多个候选点中的、旋转部能够沿着特定移动轨迹以最短的移动时间从一个旋转运动的旋转圆移动至下一个旋转运动的旋转圆的点。

技术领域

本发明涉及取得被检查物的多个X射线图像来制作三维数据的X射线检查装置。

背景技术

以往，存在如下技术：从多个方向拍摄基板表面等被检查物的X射线图像，根据拍摄到的多个X射线图像制作三维数据，进行检查部位的内部构造的检查。作为该例子，能够列举层析摄影合成、CT等技术。在该技术中，从X射线源对被检查物的检查部位照射X射线，利用X射线照相机拍摄透过的X射线。然后，一边使X射线源、被检查物、X射线照相机的位置关系相对地变化，一边拍摄多张X射线图像。

此时，通过使X射线源、被检查物、X射线照相机中的至少任意方进行旋转运动来改变彼此的相对位置，当一次旋转运动结束而该检查部位的拍摄结束时，向用于拍摄下一个检查部位的拍摄位置进行移动运动，进而进行旋转运动。因此，为了缩短被检查物的检查时间，需要高效地进行上述的旋转运动和移动运动。这里，旋转运动表示以匀速进行圆旋转的运动，不包含圆旋转前的加速助跑运动、圆旋转后的减速制动运动。另一方面，移动运动表示从旋转圆向下一个旋转圆移动的运动。例如，与移动运动相关的运动距离为旋转圆之间的移动距离。

针对该问题，公知有如下技术：基于用于拍摄放射线透视图像的拍摄条件，求解各个处理的时间(例如，到放射线发生器所照射的放射线稳定为止所需的时间、移动放射线发生器所需的时间、使基板保持部在基板旋转轨道所延伸的平面上平行移动所需的时间、检测器驱动部使检测器移动以及与检测器联动地使基板保持部移动所需的时间等)的组合、最优化问题，由此，求出拍摄多个放射线透视图像所需的时间变短的拍摄路径(例如，参照专利文献1)。

然而，在以往的技术中，对于使X射线源、被检查物、X射线照相机移动时的移动轨迹、移动时间的最优化没有充分地进行研究。

专利文献1：日本特开2011-209054号公报

专利文献2：日本特开2013-247228号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于提供能够缩短X射线检查装置中的被检查物的检查时间的技术。

用于解决问题的手段