[发明专利]一种无死角的视窗

说明书

本申请提供一种无死角的视窗，包括设置在真空蒸镀机的腔体门上的观察窗和设置在主腔体内并与主腔体后面板固定的反射件，所述观察窗的结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件设置在主腔体内并且与安装架连接，延伸件与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架具有第一通孔，第一通孔与外层玻璃的位置相对应，延伸件有两个，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，延伸件中的一个或者两个具有反射功能，反射件相对于腔体门的一面具有反射功能；主腔室内的光线通过延伸件和/或反射件的反射后穿过第一通孔到达外层玻璃而进入人眼，延伸件阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔。

技术领域

本发明涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种无死角的视窗。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。

在镀膜的过程中，可以通过视窗目视观察真空蒸镀机的主腔体内的运行状况，坩埚内蒸镀材料的情况、镀锅的回转情况、加热灯的状态等。目前的真空蒸镀机的视窗从外向内包括把手、回转轴、外层玻璃、回转玻璃，回转玻璃跟着回转轴同步旋转，然后通过防着板上的观察孔观察真空蒸镀机的腔体内的情况。由于回转玻璃对着观察孔的地方会被镀膜，下一次观察的时候将回转玻璃没有被镀膜的地方对着观察孔进行观察，应用几次之后回转玻璃被全部镀膜没法再进行观察，就需要经常更换腔体门内的回转玻璃。现有技术的视窗，坩埚内的后半部受到坩埚的右侧围的影响，是观测不到的，是观测死角。

有鉴于此，本发明提供一种无死角的视窗，能够无死角的观察真空蒸镀机的主腔体内的情况，并且该视窗没有因镀膜而需要更换的部件。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种无死角的视窗，能够无死角的观察真空蒸镀机的主腔体内的情况，并且该视窗没有因镀膜而需要更换的部件。

本申请的无死角的视窗，坩埚内的光线通过反射镜22反射后，再通过上延伸件131的下表面反射后穿过第一通孔121到达外层玻璃11或者直接穿过第一通孔121到达外层玻璃11，能够观察到坩埚内的后半部及右侧围的情况，消除观测死角；同时，延伸件起到反射光线以方便人眼观察主腔体内情况和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过安装架的第一通孔的双重作用，没有蒸镀材料穿过安装架的第一通孔和腔体门通孔，外层玻璃不会被镀膜，外层玻璃不需要更换，可以用几年没有问题，其中，上方延伸件的下表面被镀膜后会越镀越亮，不影响反射的效果，因此没有因镀膜而需要更换的部件。本申请人在此基础上完成了本申请。

一种无死角的视窗，包括设置在真空蒸镀机的腔体门上的观察窗1和设置在主腔体内并与主腔体后面板固定的反射件2，所述观察窗1的结构从外向内包括：外层玻璃11、安装架12和延伸件13，所述外层玻璃11和安装架12固定在腔体门上，延伸件13设置在主腔体内并且与安装架12连接，延伸件13与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架12具有第一通孔121，第一通孔121与外层玻璃11的位置相对应，延伸件13有两个，两个延伸件13上下设置在第一通孔121的上下两边，延伸件13中的一个或者两个具有反射功能，反射件2相对于腔体门的一面具有反射功能；主腔室内的光线通过延伸件13和/或反射件2的反射后穿过第一通孔121到达外层玻璃11而进入人眼，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件13阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔121。