[发明专利]一种无死角的视窗

权利要求书

1.一种无死角的视窗，其特征在于，包括设置在真空蒸镀机的腔体门上的观察窗(1)和设置在主腔体内并与主腔体后面板固定的反射件(2)，所述观察窗(1)的结构从外向内包括：外层玻璃(11)、安装架(12)和延伸件(13)，所述外层玻璃(11)和安装架(12)固定在腔体门上，延伸件(13)设置在主腔体内并且与安装架(12)连接，延伸件(13)与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架(12)具有第一通孔(121)，第一通孔(121)与外层玻璃(11)的位置相对应，延伸件(13)有两个，两个延伸件(13)上下设置在第一通孔(121)的上下两边，延伸件(13)中的一个或者两个具有反射功能，反射件(2)相对于腔体门的一面具有反射功能；主腔室内的光线通过延伸件(13)和/或反射件(2)的反射后穿过第一通孔(121)到达外层玻璃(11)而进入人眼，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，坩埚为碗状的形状，坩埚内的蒸镀材料的表面低于坩埚的上表面，延伸件(13)阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔(121)；镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，设置在上方的延伸件(13)为上方延伸件(131)，设置在下方的延伸件(13)为下方延伸件(132)，当观察窗(1)的上方延伸件(131)的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb时，需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面中心点和下方延伸件(132)的最高点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为d,下方延伸件(132)的长度为M，上方延伸件(131)和下方延伸件(132)在安装架(12)上的间距小于等于M×cosa+M×sina×cotd，延伸件(13)起到反射光线和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔(121)的双重作用；当观察窗(1)的上方延伸件(131)的最低点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L×cotb时，需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面最左侧点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为c,坩埚内的蒸镀材料的表面最左侧点与腔体门之间的距离为L1，观察窗(1)的上方延伸件(131)的最高点与主腔体底板之间的距离大于H+L1×cotc，延伸件(13)起到反射光线的作用；所述反射件(2)包括反射固定部(21)和反射镜(22),反射固定部(21)与主腔体的后面板固定，反射镜(22)与反射固定部(21)连接，反射镜(22)与主腔体的后面板具有倾斜角度，倾斜角度为10°-80°，坩埚内的光线通过反射镜(22)反射后，再通过上方延伸件(131)的下表面反射后穿过第一通孔(121)到达外层玻璃(11)或者直接穿过第一通孔(121)到达外层玻璃(11)，能够观察到坩埚内的后半部及右侧围的情况；所述反射件(2)位于主腔体的后面板的中下部；光线通过上方延伸件(131)的下表面反射到下方延伸件(132)的上表面，下方延伸件(132)的上表面反射后穿过第一通孔(121)到达外层玻璃(11)，上方延伸件(131)的下表面和下方延伸件(132)的上表面均具有反射功能，或者光线通过上方延伸件(131)的下表面反射后直接穿过第一通孔(121)到达外层玻璃(11)，上方延伸件(131)的下表面具有反射功能，观察坩埚内的前半部的情况；观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下方延伸件(132)的上表面反射后直接穿过第一通孔(121)到达外层玻璃(11)，或/和光线直接穿过第一通孔(121)到达外层玻璃(11)，下方延伸件(132)的上表面均具有反射功能；所述观察窗(1)具有多个，多个观察窗(1)有规律的分布在腔体门上，根据实际需要调整观察窗(1)的位置、延伸件(13)的长度、延伸件(13)的倾斜角a、延伸件(13)的反射功能及上方延伸件(131)和下方延伸件(132)在安装架(12)上的间距。

2.如权利要求1所述的无死角的视窗，其特征在于，所述腔体门上设置有通孔，外层玻璃(11)固定在腔体门通孔相对应的位置，外层玻璃(11)固定在腔体门通孔外侧的腔体门外壁上、或者固定在腔体门通孔内侧的腔体门内壁上、或者固定在腔体门通孔的内部。

3.如权利要求1所述的无死角的视窗，其特征在于，所述观察窗(1)还包括中空固定件(14)，中空固定件(14)用于将外层玻璃(11)与腔体门固定，中空固定件(14)通过螺丝与腔体门固定，中空固定件(14)的中空部分的形状与外层玻璃(11)的形状相同。

4.如权利要求1所述的无死角的视窗，其特征在于，所述安装架(12)还包括腔体门固定部(122)和延伸件固定部(123)，第一通孔(121)设置在腔体门固定部(122)上，腔体门固定部(122)与腔体门固定，延伸件固定部(123)位于主腔体内，延伸件固定部(123)与延伸件(13)连接。