[发明专利]一种设置有智能取料装置的经济型大尺寸晶体生长炉有效

专利信息
申请号: 202210137412.4 申请日: 2022-02-15
公开(公告)号: CN114606574B 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 杨金海;徐永根 申请(专利权)人: 浙江晶阳机电股份有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 王浩杰
地址: 314413 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 设置 智能 装置 经济型 尺寸 晶体生长
【权利要求书】:

1.一种设置有智能取料装置的经济型大尺寸晶体生长炉,包括主体板(1),其特征在于:主体板(1)的顶部设置有驱动电机(2),驱动电机(2)的输出端设置有转动齿轮(3),主体板(1)的顶部通过支撑架设置有支撑圆板(6),支撑圆板(6)的顶部设置有若干与转动齿轮(3)进行啮合的从动齿轮(4),从动齿轮(4)的顶部设置有滑槽转轮(5),滑槽转轮(5)的顶部开设有齿轮槽,齿轮槽靠近圆心的侧壁设置有若干的内圈齿牙(9),齿轮槽远离圆心的侧壁设置有若干的外圈齿牙(10),滑槽转轮(5)的上方设置有与内圈齿牙(9)和外圈齿牙(10)相啮合的啮合齿轮(11),啮合齿轮(11)的周向转动连接有连接板(16),连接板(16)的底部与支撑圆板(6)的周向固定相连,啮合齿轮(11)的顶部设置有滑槽圆柱(12),滑槽圆柱(12)的内部滑动连接有卡合坩埚(13),滑槽圆柱(12)的周向设置有震动机构,从动齿轮(4)的内部通过螺纹啮合有螺纹机构,螺纹机构的顶部设置有推力板(14),推力板(14)远离螺纹机构的一端转动连接有一组滑动齿轮销(20),滑动齿轮销(20)的内壁与卡合坩埚(13)的周向转动连接,卡合坩埚(13)的周向设置有滑动圆周槽(15),滑动齿轮销(20)的表面与连接板(16)内壁开设的内壁齿条(21)相啮合,连接板(16)的顶部设置有震动块(22)。

2.根据权利要求1所述的一种设置有智能取料装置的经济型大尺寸晶体生长炉,其特征在于:所述震动机构包括震动弹簧(19),震动弹簧(19)与滑槽圆柱(12)的周向固定相连,震动弹簧(19)远离滑槽圆柱(12)的一端设置有弹力球(18),弹力球(18)的表面接触有阻挡板(17),阻挡板(17)与连接板(16)的侧壁固定相连。

3.根据权利要求1所述的一种设置有智能取料装置的经济型大尺寸晶体生长炉,其特征在于:所述螺纹机构包括滑动丝杆(7),滑动丝杆(7)的周向通过设置的平移螺纹(8)与从动齿轮(4)内部的螺纹进行啮合,滑动丝杆(7)的周向通过燕尾块与支撑圆板(6)内部开设的燕尾槽滑动连接,滑动丝杆(7)的顶部设置有推力板(14)。

4.根据权利要求3所述的一种设置有智能取料装置的经济型大尺寸晶体生长炉,其特征在于:所述支撑圆板(6)的顶部设置有一组连接杆(25),连接杆(25)远离支撑圆板(6)的一端设置有设为锥形的晶体收集框(23),晶体收集框(23)的内壁上转动连接有若干转动球(24)。

5.根据权利要求4所述的一种设置有智能取料装置的经济型大尺寸晶体生长炉,其特征在于:所述晶体收集框(23)的内部设置有尖端朝上的圆锥,同时晶体收集框(23)的底部与内部圆锥的转角为平滑圆弧状,用来对下落的晶体起到减速缓冲作用,且避免晶体发生硬性碰撞,晶体收集框(23)位于主体板(1)的上方。

6.根据权利要求3所述的一种设置有智能取料装置的经济型大尺寸晶体生长炉,其特征在于:所述平移螺纹(8)的燕尾块长度大于滑动丝杆(7)上升的最大高度,防止在过程中滑动丝杆(7)不受支撑圆板(6)的燕尾槽限位作用导致滑动丝杆(7)与从动齿轮(4)一起转动导致运动干涉。

7.根据权利要求5所述的一种设置有智能取料装置的经济型大尺寸晶体生长炉,其特征在于:所述滑动齿轮销(20)到达内壁齿条(21)的距离与卡合坩埚(13)的底部到达滑槽圆柱(12)顶部的距离,避免卡合坩埚(13)位于滑槽圆柱(12)内部时发生转动造成运动干涉且内壁齿条(21)的长度大于卡合坩埚(13)顶部到达晶体收集框(23)顶部的直线距离,从而使得卡合坩埚(13)旋转到位后不会超出内壁齿条(21)的高度。

8.根据权利要求7所述的一种设置有智能取料装置的经济型大尺寸晶体生长炉,其特征在于:所述震动块(22)的底部设有橡胶块,避免与卡合坩埚(13)的周向进行接触时造成的撞击过大,影响晶体的整体性,震动块(22)的水平高度大于晶体收集框(23)的顶部的水平高度,从而使得卡合坩埚(13)的顶部运动后位于晶体收集框(23)的上方使得晶体自由下落至晶体收集框(23)中。

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