[发明专利]一种可调脉宽的功率脉冲施加电路及脉冲调节方法

权利要求书

1.一种可调脉宽的功率脉冲施加电路，其特征在于，包括二极管D3、电阻R1、电阻R_C、电容C1、电容C2、电容C5、电容C_C1、电容C_C2、开关SW1、开关SW2、电源VH、开关及VH控制和驱动单元；其中，所述电容C1与源并联；所述电容C_C1和电容C_C2的一端均连接电阻R_C，另一端分别连接母线DUT+和DUT-；所述电源VH与电容C2并联，电源VH的+端通过依次串联的开关SW1、SW2过电容C_C1与母线DUT+连接，电源VH的-端过电容C_C2与母线DUT-连接；所述开关及VH控制和驱动单元用于通过控制开关SW1、SW2的通断、开关时序；

所述开关SW1和SW2使用双向阻断开关；或者，开关SW1和SW2使用单向开关且开关需要双向阻断时，与开关SW1和SW2串联有开关SW3，开关SW3使用MOS管且SW3的体二极管方向与SW1和SW2的体二极管方向相反；或者，开关SW3采用二极管且SW3的体二极管方向与SW1和SW2的体二极管方向相反。

2.一种权利要求1所述的可调脉宽的功率脉冲施加电路的脉冲调节方法，采用如下三种方式的其中一种，利用开关及VH控制和驱动单元对各开关进行控制实现需要的脉宽和脉冲幅值输出：

(1)电源VH对电容C2充电到需要的脉冲幅值后，开关SW1和SW2任意一只较另一只先导通后关断，则另一只开关的导通时间即为需要的脉宽；

(2)电源VH对电容C2充电到需要的脉冲幅值后，开关SW1和SW2同时导通和关断，则它们的导通时间即为需要的脉宽；

(3)电源VH对电容C2充电到需要的脉冲幅值后，开关SW1和SW2任意一只较另一只先导通先关断，则开关SW1和SW2的共同导通时间即为需要的脉宽，该方式下能够产生窄脉冲；

同时，方式(1)～(3)中，如果电路中设置有开关SW3，则电源VH对电容C2充电到需要的脉冲幅值后，开关SW3先于开关SW1和SW2导通，且开关SW3晚于开关SW1和SW2关断。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，当开关SW1～SW3的通路建立，电压VH开始输出，通过调节电源VH的输出阻抗来调节脉冲的上升沿；通过调节电源VH的下电波形来调节脉冲的下降沿；或者，当开关SW1～SW3的通路建立，电压VH开始输出，调节电源VH的输出波形，实现需要的脉冲波形输出。

4.如权利要求1所述的可调脉宽的功率脉冲施加电路，其特征在于，还包括脉冲沿调节电路，所述脉冲沿调节电路包括电阻R、开关SW4、开关SW5和电容C，其中，电阻R通过开关SW4与电源VH并联；电容C通过开关SW5一端与电源VH的-端连接，另一端连接于开关SW1和SW2的公共节点。