[发明专利]一种光波导滤波器

说明书

本申请属于光集成技术领域，公开了一种光波导滤波器，包括衬底和两个条形光波导，两个所述条形光波导形状尺寸相同，两个所述条形光波导相互平行且对称地设置在所述衬底上表面；还包括设置在所述衬底上表面的矩形的平板光波导；所述平板光波导设置在两个所述条形光波导之间，所述平板光波导的两个第一边沿与所述条形光波导平行，两个所述第一边沿为所述平板光波导的其中两个相互平行的边沿；所述条形光波导和所述平板光波导的厚度相同，每个所述第一边沿与相邻的所述条形光波导之间具有相同的间隙，所述条形光波导中传输的光波可耦合到所述平板光波导中；该光波导滤波器的结构简单，制造难度较小，有利于降低制造成本。

技术领域

本申请涉及光集成技术领域，具体而言，涉及一种光波导滤波器。

背景技术

高比特率信息通过低损耗光波导在有源器件之间传输的光集成电路和光电集成电路是新一代光通信系统的解决方案之一。为满足光通信的基本要求，光集成电路中一般会设置光波导滤波器来实现光波滤波功能，一般的光波导滤波器的结构如图5所示，包括衬底90、两个条形光波导91和光波导微环92，其中，为保证光波导滤波器的滤波效果，光波导微环92的尺寸精度要求较高，导致该光波导滤波器的制造难度较大、制造容错率较小，导致制造成本高。

发明内容

本申请的目的在于提供一种光波导滤波器，其制造难度较小，有利于降低制造成本。

本申请提供了一种光波导滤波器，包括衬底和两个条形光波导，两个所述条形光波导形状尺寸相同，两个所述条形光波导相互平行且对称地设置在所述衬底上表面；还包括设置在所述衬底上表面的矩形的平板光波导；所述平板光波导设置在两个所述条形光波导之间，所述平板光波导的两个第一边沿与所述条形光波导平行，两个所述第一边沿为所述平板光波导的其中两个相互平行的边沿；

所述条形光波导和所述平板光波导的厚度相同，每个所述第一边沿与相邻的所述条形光波导之间具有相同的间隙，所述条形光波导中传输的光波可耦合到所述平板光波导中。

该光波导滤波器在使用时从其中一个条形光波导的一端输入光波，其中包含的特定波长的光波会在输入光波的条形光波导和平板光波导之间耦合并在平板光波导中形成多模场，最终会从另一个条形光波导的一端输出，完成光波滤波的功能，与现有技术相比，结构更加简单，制造难度更小，有利于降低制造成本。

优选地，所述间隙大于0且不大于240nm。从而保证条形光波导与平板光波导之间能够实现有效的耦合。

优选地，所述间隙为20nm。

优选地，所述条形光波导的长度大于所述第一边沿的长度，两个所述条形光波导的中心点和所述平板光波导的中心点在同一直线上。

优选地，所述条形光波导的尺寸满足以下的单模光波传输条件：

max（w，2h）λ/n2w；

其中，w为所述条形光波导的宽度，h为所述条形光波导的厚度，λ为工作光波在真空中的波长，n为所述条形光波导的折射率。

优选地，所述条形光波导的宽度不大于300nm。以进一步保证条形光波导与平板光波导之间的有效耦合。

优选地，所述条形光波导的宽度为240nm，厚度为220nm。

优选地，所述条形光波导和所述平板光波导的上表面设置有包层。

优选地，所述衬底由二氧化硅、二氧化铪或氮化硅制成，所述条形光波导和所述平板光波导均由硅、氮化硅、磷化铟或铌酸锂制成。

优选地，所述包层由二氧化硅、二氧化铪、氮化硅、SU8聚合物、PMMA聚合物或PTFE聚合物制成。

有益效果：