[发明专利]一种光波导滤波器

权利要求书

1.一种光波导滤波器，用于从输入的横电场高斯光波中滤出1627.47nm的光波，包括衬底（1）和两个条形光波导（2），两个所述条形光波导（2）形状尺寸相同，两个所述条形光波导（2）相互平行且对称地设置在所述衬底（1）上表面；其特征在于，还包括设置在所述衬底（1）上表面的矩形的平板光波导（3）；所述平板光波导（3）设置在两个所述条形光波导（2）之间，所述平板光波导（3）的两个第一边沿（301）与所述条形光波导（2）平行，两个所述第一边沿（301）为所述平板光波导（3）的其中两个相互平行的边沿；

所述条形光波导（2）和所述平板光波导（3）的厚度相同，每个所述第一边沿（301）与相邻的所述条形光波导（2）之间具有相同的间隙（4），所述条形光波导（2）中传输的光波可耦合到所述平板光波导（3）中；

所述条形光波导（2）和所述平板光波导（3）均由硅制成；所述衬底（1）由二氧化硅制成；

所述条形光波导（2）的厚度为220nm，宽度为240nm；所述平板光波导（3）的厚度为220nm，第一边沿（301）和第二边沿的长度均为2000nm，所述第二边沿为所述平板光波导（3）的除第一边沿（301）以外的边沿；

所述间隙（4）为20nm；

所述条形光波导（2）的长度大于所述第一边沿（301）的长度，两个所述条形光波导（2）的中心点和所述平板光波导（3）的中心点在同一直线上；

所述条形光波导（2）的长度方向上的两个端面分别与衬底（1）的两个边沿对齐；

所述条形光波导（2）和所述平板光波导（3）的上表面设置有包层，所述包层由二氧化硅制成。