[发明专利]一种装夹定心方法及硅棒加工设备

权利要求书

1.一种装夹定心方法，应用于方形硅棒抛光前的装夹定心，其特征在于，所述方法包括：

将所述方形硅棒放置于上料台上；

获取所述方形硅棒待测边在至少两个位置的边长；

基于所述边长与目标边长的差值，确定补偿参数；

根据所述补偿参数，调整所述上料台的位置以使所述方形硅棒的轴线与抛光装置的轴心重合；

所述待测边为所述方形硅棒轴向截面上相邻的两边；

所述获取所述方形硅棒待测边在至少两个位置的边长，包括：

确定所述待测边的第一端点和第二端点；

获取所述抛光装置的轴心至所述第一端点的第一距离，以及所述抛光装置的轴心至所述第二端点的第二距离；

根据所述第一距离和所述第二距离，确定所述待测边的边长；

所述基于所述边长与目标边长的差值，确定补偿参数，包括：

确定所述目标边长的中值；

确定所述第一距离与所述中值的第一差值，以及所述第二距离与所述中值的第二差值；

基于所述第一差值和所述第二差值，确定补偿参数。

2.根据权利要求1所述的装夹定心方法，其特征在于，至少两个所述位置包括所述方形硅棒两个端面的位置，所述获取所述方形硅棒待测边在至少两个位置的边长，包括：

获取所述方形硅棒待测边在第一端面位置的第一边长，以及所述方形硅棒待测边在第二端面位置的第二边长。

3.根据权利要求2所述的装夹定心方法，其特征在于，至少两个所述位置还包括所述方形硅棒轴向中心截面的位置，所述获取所述方形硅棒待测边在至少两个位置的边长，还包括：

获取所述方形硅棒待测边在所述方形硅棒轴向中心截面位置的第三边长。

4.根据权利要求1所述的装夹定心方法，其特征在于，所述获取所述方形硅棒待测边在至少两个位置的边长，还包括：

在每个所述位置处，获取至少三组所述方形硅棒待测边的边长。

5.根据权利要求1所述的装夹定心方法，其特征在于，所述将所述方形硅棒放置于上料台上之前，所述方法还包括：

沿垂直于所述方形硅棒轴线方向，获取所述方形硅棒相邻两边的初始尺寸；

根据所述初始尺寸，将所述方形硅棒放置于所述上料台的中心。

6.根据权利要求1所述的装夹定心方法，其特征在于，所述上料台包括平移机构和升降机构，所述根据所述补偿参数，调整所述上料台的位置以使所述方形硅棒的轴线与抛光装置的轴心重合，包括：

根据所述补偿参数，调整所述平移机构和/或所述升降机构的位置，以使所述方形硅棒的轴线与所述抛光装置的轴心重合。

7.一种硅棒加工设备，其特征在于，所述硅棒加工设备应用于权利要求1至6任一项所述的装夹定心方法。