[发明专利]旋转运动台

说明书

本发明涉及一种旋转运动台，旋转运动台包括基台、旋转台面、支撑垫、线性促动器、枢轴铰链，所述旋转台面通过底部连接的支撑垫设置在所述基台的表面，旋转台面的一侧与所述枢轴铰链的柔性侧固定连接，所述枢轴铰链的固定侧固定在所述基台的表面，所述线性促动器固定在所述基台表面，线性促动器的运动轴与所述旋转台面的另一侧面固定连接。本申请结构紧凑，体积小，能够提高运动台对于横向作用力的抗干扰性，同时提高旋转运动台的工作稳定性和可靠性。

技术领域

本发明涉及精密定位控制技术领域，具体涉及一种旋转运动台。

背景技术

在对产品检测时，为了能够保证检测的准确性，根据工况的不同，可通过旋转运动台对被测物进行精密定位，或者结合XY运动台和设置于XY运动台上的Z向运动台对被测物进行精密定位，再有特定工况的需求，还有引入RZ向运动台的情况进行被测物的位置调整。而针对不同的产品类型，对于运动台的工作精度要求也不同，而对于半导体晶圆进行检测时，由于其本身的结构精密性，其检测精度要求也更高，甚至要达到微米乃至纳米量级。

而就RZ运动台而言，传统的具有两种结构，一是采用机械轴承配合直驱旋转电机的结构，但由于机械轴承的限制，精度差，只能达到毫弧度量级，另一是采用气浮轴承配合直驱旋转电机的结构，但是设备的整体体积较大，尤其是Z向尺寸较大，同时导致自重大，不便于布置。

因此，如何优化RZ向的结构，更好地满足半导体晶圆检测的高刚度高精度需求，是目前急需解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是要提供一种旋转运动台，其结构紧凑，体积小，能够提高运动台对于横向作用力的抗干扰性，同时提高旋转运动台的工作稳定性和可靠性。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

本发明提供了一种旋转运动台，旋转运动台包括基台、旋转台面、支撑垫、线性促动器、枢轴铰链，所述旋转台面通过底部连接的支撑垫设置在所述基台的表面，旋转台面的一侧与所述枢轴铰链的柔性侧固定连接，所述枢轴铰链的固定侧固定在所述基台的表面，所述线性促动器固定在所述基台表面，线性促动器的运动轴与所述旋转台面的另一侧面固定连接。

对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。

可选地，所述枢轴铰链包括活动板、旋转板，所述活动板固定于基台表面，所述活动板垂直于所述基台表面，所述活动板与旋转板相平行地设置并且通过第一薄壁金属连接所述活动板与旋转板，所述第一薄壁金属垂直于所述基台表面。

进一步地，还包括柔性连接件，所述柔性连接件呈平板状，整体平行于所述基台，所述柔性连接件的一侧连接活动板，相对的另一侧与基台或者固定于基台上的固定架相连接。

更进一步地，所述柔性连接件包括连接件主体，所述连接件主体上具有第二薄壁金属，所述第二薄壁金属与所述第一薄壁金属呈正交布置。

可选地，所述旋转运动台还包括连接铰链，所述线性促动器的运动轴通过柔性连接轴与所述连接铰链相连，所述连接铰链固定连接所述旋转台面。

进一步地，所述连接铰链包括柔性固定件，柔性固定件中具有双层薄壁金属结构、是为第三薄壁金属，且所述柔性固定件中的第三薄壁金属平行于所述基台表面，所述柔性连接轴穿设于所述柔性固定件的双层薄壁金属之间连接。

进一步地，所述柔性固定件包括平行于基台表面的两水平臂和连接两臂的竖直板，在两水平臂上分别开设有第三薄壁金属，所述柔性连接轴的一端与所述线性促动器的运动轴相连，所述柔性连接轴的另一端穿过所述竖直板后再从所述两水平臂之间穿过后与基台或者固定于基台上的支架相连接。

更进一步地，所述柔性连接轴上具有第四薄壁金属，所述第四薄壁金属同样平行于所述基台表面并且与所述线性促动器的运动轴的轴线相垂直。