[发明专利]致动器装置

权利要求书

1.一种致动器装置，其特征在于：

具备：

支撑部；

可动部；

第一连结部，其以所述可动部能够在第一轴线周围摇动的方式在所述第一轴线上将所述可动部连结于所述支撑部；以及

第一配线，其被设置于所述第一连结部上，

所述第一配线具有由维氏硬度为50HV以上的金属材料构成的第一主体部，

所述第一主体部包括面对所述第一连结部的第一表面和所述第一表面以外的第二表面，

所述第二表面在垂直于所述第一配线的延伸方向的截面上具有以朝向所述第一连结部侧凸出的方式弯曲的弯曲部分。

2.如权利要求1所述的致动器装置，其特征在于：

所述第二表面在垂直于所述第一配线的延伸方向的截面上以构成锐角的方式与所述第一表面相交叉。

3.如权利要求1或2所述的致动器装置，其特征在于：

所述第二表面在垂直于所述第一配线的延伸方向的截面上以45度以下的角度与所述第一表面相交叉。

4.如权利要求1～3中的任意一项所述的致动器装置，其特征在于：

所述第二表面在垂直于所述第一配线的延伸方向的截面上具有多个所述弯曲部分。

5.如权利要求1～4中的任意一项所述的致动器装置，其特征在于：

所述第二表面在垂直于所述第一配线的延伸方向的截面上具有平坦部分、和形成于所述平坦部分的两侧的一对所述弯曲部分。

6.如权利要求1～5中的任意一项所述的致动器装置，其特征在于：

所述第一连结部由半导体材料构成，在所述第一连结部，以与所述第一配线接触的方式形成有扩散有杂质的扩散层。

7.如权利要求1～6中的任意一项所述的致动器装置，其特征在于：

所述第一主体部由钨、钛、镍、钼、铝合金、钨合金、钛合金、镍合金以及不锈钢中的至少一种构成。

8.如权利要求1～7中的任意一项所述的致动器装置，其特征在于：

所述第一配线还具有被设置于所述第一连结部和所述第一主体部之间的种子层。

9.如权利要求8所述的致动器装置，其特征在于：

所述种子层由维氏硬度为50HV以上的金属材料构成。

10.如权利要求1～9中的任意一项所述的致动器装置，其特征在于：

进一步具备：屏障层，其被设置于所述第一连结部和所述第一配线之间。

11.如权利要求10所述的致动器装置，其特征在于：

所述屏障层由维氏硬度为50HV以上的材料构成。

12.如权利要求1～11中的任意一项所述的致动器装置，其特征在于：

进一步具备：第二配线，其被设置于所述支撑部上，并且连接于所述第一配线，

所述第二配线由维氏硬度小于50HV的金属材料构成。

13.如权利要求1～12中的任意一项所述的致动器装置，其特征在于：

进一步具备：

框部，其支撑所述支撑部以及所述可动部；

第二连结部，其以所述支撑部能够在与所述第一轴线相交叉的第二轴线周围摇动的方式，在所述第二轴线上将所述支撑部连结于所述框部；以及

第三配线，其被设置于所述第二连结部上，

所述第三配线具有：第二主体部，其由电阻率比构成所述第一主体部的金属材料小的金属材料构成。