[发明专利]分区管理方法、装置、计算机设备和存储介质

说明书

本发明提供了一种分区管理方法、装置、计算机设备和存储介质，属于晶圆储存装置管理领域，方法包括接收晶圆盒运输请求；根据属性信息获取目标存储仓的目标状态信息；根据属性信息和目标状态信息判断在预设时间段内目标存储仓的物理区域是否存在可用区域；当判定为否时，获取与目标存储仓的区域设置信息以及各设置区域内的区域存储信息；根据区域设置信息和区域存储信息重新进行区域设置，并在预设时间段内将目标晶圆盒运输到目标存储仓内。通过本申请的处理方案，当输送线上晶圆盒的用途或属性发生变化时，可以及时变更输送存储仓，并保证晶圆盒输送的准确性。

技术领域

本发明涉及晶圆储存装置管理领域，具体涉及一种分区管理方法、装置、计算机设备和存储介质。

背景技术

在半导体生产设备厂设置有用于存放FOUP的存储柜(Stocker)，在存储柜中的货架上的各阁位用于存储多个晶圆传送盒(FOUP)。在通过传送设备进行传输过程中，为将各晶圆传送盒传送到目的位，由于每个晶圆传送盒(FOUP)都有自己的属性和优先级，而且在不同生产工艺阶段需要的FOUP属性会随工艺进行而发生变化，因此，需要对各类型的晶圆传送盒进行管理，保证其位于与工艺对应最近的操作台上，完成各工艺的加工；同时进一步保证在输送过程中同一输送线中的FOUP的优先级会发生变更时，可以及时对输送路径等进行调整并平衡每个仓库存储各FOUP的数量。

目前现在技术无法及时对输送路径等进行调整，或是很好地实现FOUP的平衡，或是当FOUP的属性发生变化时，可以及时将FOUP存储在与工艺对应的操作台上。

发明内容

因此，为了克服上述现有技术的缺点，本发明提供一种分区管理方法、装置、计算机设备和存储介质。

为了实现上述目的，本发明提供一种分区管理方法，包括：接收晶圆盒运输请求，所述晶圆盒运输请求携带有目标晶圆盒的属性信息、当前存储仓信息、目标存储仓信息以及所述目标晶圆盒输送至目标存储仓的预设时间段；根据所述属性信息获取所述目标存储仓的目标状态信息，所述目标状态信息包含所述目标存储仓的物理区域的存储信息；根据所述属性信息和所述目标状态信息判断在所述预设时间段内所述目标存储仓的物理区域是否存在可用区域；当判定为否时，获取与所述目标存储仓的区域设置信息以及各设置区域内的区域存储信息；根据所述区域设置信息和所述区域存储信息重新进行区域设置，并在所述预设时间段内将所述目标晶圆盒运输到所述目标存储仓内。

在其中一个实施例中，所述目标状态信息还包含所述目标存储仓的逻辑区域的存储信息，所述根据所述属性信息和所述目标状态信息判断在所述预设时间段内所述目标存储仓的物理区域是否存在可用区域，包括：根据所述属性信息和所述物理区域的存储信息判断在所述预设时间段内所述目标存储仓的物理区域是否存在可用区域；当判定为否时，根据所述属性信息和所述逻辑区域的存储信息判断在所述预设时间段内所述目标存储仓的逻辑区域是否存在可用区域，并输出判定结果。

在其中一个实施例中，所述目标存储仓还设置有缓存区域，当所述目标存储仓的存储信息未及时更新，导致误判定所述目标存储仓存在可用区域时，在所述预设时间段内将所述目标晶圆盒运输到所述目标存储仓的所述缓存区域内。

在其中一个实施例中，当根据所述区域设置信息和所述区域存储信息无法重新进行区域设置时，所述方法还包括：获取与所述目标存储仓相邻的临时存储仓的临时状态信息，并根据该临时状态信息和所述目标状态信息筛选出所述目标存储仓和所述临时存储仓中可相互移交的移交晶圆盒清单信息；根据所述移交晶圆盒清单信息移交所述目标存储仓和所述临时存储仓中的晶圆盒，并在所述预设时间段内将所述目标晶圆盒运输到所述目标存储仓内。