[发明专利]分区管理方法、装置、计算机设备和存储介质有效

专利信息
申请号: 202210108743.5 申请日: 2022-01-28
公开(公告)号: CN114551296B 公开(公告)日: 2023-02-28
发明(设计)人: 缪峰;申国莉 申请(专利权)人: 弥费科技(上海)股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 代理人: 黄贞君;黎飞鸿
地址: 201306 上海市浦东新区中国(上海)*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 分区 管理 方法 装置 计算机 设备 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种分区管理方法,其特征在于,包括:

接收晶圆盒运输请求,所述晶圆盒运输请求携带有目标晶圆盒的属性信息、当前存储仓信息、目标存储仓信息以及所述目标晶圆盒输送至目标存储仓的预设时间段;

根据所述属性信息获取所述目标存储仓的目标状态信息,所述目标状态信息包含所述目标存储仓的物理区域的存储信息;

根据所述属性信息和所述目标状态信息判断在所述预设时间段内所述目标存储仓的物理区域是否存在可用区域;

当判定为否时,获取与所述目标存储仓的区域设置信息以及各设置区域内的区域存储信息;

根据所述区域设置信息和所述区域存储信息重新进行区域设置,并在所述预设时间段内将所述目标晶圆盒运输到所述目标存储仓内。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述目标状态信息还包含所述目标存储仓的逻辑区域的存储信息,所述逻辑区域是指在一个目标存储仓中每个区域理论上设置的货架数量,所述根据所述属性信息和所述目标状态信息判断在所述预设时间段内所述目标存储仓的物理区域是否存在可用区域,包括:

根据所述属性信息和所述物理区域的存储信息判断在所述预设时间段内所述目标存储仓的物理区域是否存在可用区域;

当判定为否时,根据所述属性信息和所述逻辑区域的存储信息判断在所述预设时间段内所述目标存储仓的逻辑区域是否存在可用区域,并输出判定结果。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述目标存储仓还设置有缓存区域,当所述目标存储仓的存储信息未及时更新,导致误判定所述目标存储仓存在可用区域时,在所述预设时间段内将所述目标晶圆盒运输到所述目标存储仓的所述缓存区域内。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当根据所述区域设置信息和所述区域存储信息无法重新进行区域设置时,所述方法还包括:

获取与所述目标存储仓相邻的临时存储仓的临时状态信息,并根据该临时状态信息和所述目标状态信息筛选出所述目标存储仓和所述临时存储仓中可相互移交的移交晶圆盒清单信息;

根据所述移交晶圆盒清单信息移交所述目标存储仓和所述临时存储仓中的晶圆盒,并在所述预设时间段内将所述目标晶圆盒运输到所述目标存储仓内。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述根据所述移交晶圆盒清单信息移交所述目标存储仓和所述临时存储仓中的晶圆盒,并在所述预设时间段内将所述目标晶圆盒运输到所述目标存储仓内,包括:

基于所述移交晶圆盒清单,将所述目标存储仓和所述临时存储仓中的第一批移交晶圆盒在所述预设时间段前进行移交存储;

在所述预设时间段内将所述目标晶圆盒运输到所述目标存储仓内;

基于所述移交晶圆盒清单,将所述目标存储仓和所述临时存储仓中的第二批移交晶圆盒在所述预设时间段后进行移交存储,调控所述目标存储仓和所述临时存储仓中存储晶圆盒的复位。

6.一种分区管理装置,其特征在于,所述装置包括:

请求接收模块,用于接收晶圆盒运输请求,所述晶圆盒运输请求携带有目标晶圆盒的属性信息、当前存储仓信息、目标存储仓信息以及所述目标晶圆盒输送至目标存储仓的预设时间段;

存储信息获取模块,用于根据所述属性信息获取所述目标存储仓的目标状态信息,所述目标状态信息包含所述目标存储仓的物理区域的存储信息;

区域判断模块,用于根据所述属性信息和所述目标状态信息判断在所述预设时间段内所述目标存储仓的物理区域是否存在可用区域;

区域信息获取模块,用于当判定为否时,获取与所述目标存储仓的区域设置信息以及各设置区域内的区域存储信息;

区域重设模块,用于根据所述区域设置信息和所述区域存储信息重新进行区域设置,并在所述预设时间段内将所述目标晶圆盒运输到所述目标存储仓内。

7.一种计算机设备,包括存储器和处理器,所述存储器存储有计算机程序,其特征在于,所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至5中任一项所述方法的步骤。

8.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至5中任一项所述的方法的步骤。

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