[发明专利]粉体输送装置、气体供给装置以及粉体除去方法在审
申请号: | 202210096062.1 | 申请日: | 2022-01-26 |
公开(公告)号: | CN114836734A | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 小森荣一 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/54;C23C16/52 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 吕琳;朴秀玉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 输送 装置 气体 供给 以及 除去 方法 | ||
1.一种粉体输送装置,包括:
粉体输送配管,其将粉体原料供给源与气化器连接,用于将粉体自上述粉体原料供给源供给至上述气化器;
第一吹扫气体供给配管,其在第一分支点将缓冲容器与上述粉体输送配管连接,用于将吹扫气体自上述缓冲容器供给至上述粉体输送配管;
第一阀,其设于上述粉体输送配管的比上述第一分支点靠上述粉体原料供给源一侧;
第二阀,其设于上述粉体输送配管的比上述第一分支点靠上述气化器一侧,并且能够调整开度;
第一吹扫气体阀,其设于上述第一吹扫气体供给配管;以及
控制部,其用于对上述第一阀、上述第二阀以及上述第一吹扫气体阀的开闭进行控制。
2.根据权利要求1所述的粉体输送装置,其中,
上述控制部执行以下工序:
输送工序,其将上述第一阀以及上述第二阀打开,并且将上述第一吹扫气体阀关闭,从而将粉体原料自上述粉体原料供给源输送至上述气化器;
填充工序,其将上述第一吹扫气体阀关闭,并且向上述缓冲容器中填充吹扫气体;以及
供给工序,其将上述第一阀关闭,并且将上述第二阀以及上述第一吹扫气体阀打开,从而将吹扫气体供给至上述第二阀,
上述供给工序中的上述第二阀的开度比上述输送工序中的上述第二阀的开度小。
3.根据权利要求1或2所述的粉体输送装置,其中,
上述第二阀是隔膜阀,
上述控制部通过对供给至上述第二阀的操作空气圧力进行控制,从而控制上述第二阀的开度。
4.根据权利要求3所述的粉体输送装置,其中,
上述控制部将上述吹扫气体圧力设定为Pg,将上述操作空气圧力设定为Pa,将对隔膜施力的弹簧的弹簧系数设定为K,将上述弹簧的初始的收缩量设定为t,将上述吹扫气体圧力所作用的上述隔膜的面积设定为Ad,将上述操作空气圧力所作用的面积设定为Aa,将上述隔膜的移动量设定为Δt,并且基于下述关系式,对上述操作空气圧力进行控制:
Pa=[K(t+Δt)-Ad/Pg]/Aa。
5.根据权利要求4所述的粉体输送装置,其中,
上述控制部使上述吹扫气体圧力变动,从而基于上述关系式,对上述操作空气圧力进行控制。
6.一种气体供给装置,包括:
权利要求1至5中任一项所述的粉体输送装置;
粉体原料供给源;以及
气化器。
7.一种粉体除去方法,其是粉体输送装置的粉体除去方法,
该粉体输送装置包括:粉体输送配管,其自粉体原料供给源连接至气化器;第一阀,其设于上述粉体输送配管的靠上述粉体原料供给源一侧;第二阀,其设于上述粉体输送配管的靠上述气化器一侧;缓冲容器,其用于填充吹扫气体;吹扫气体供给配管,其在比上述第二阀靠上游侧与上述粉体输送配管连接,用于将吹扫气体自上述缓冲容器供给至上述第二阀;以及吹扫气体阀,其设于上述吹扫气体供给配管,
该粉体除去方法具有以下工序:
输送工序,其将上述第一阀以及上述第二阀打开,并且将上述吹扫气体阀关闭,从而将粉体原料自上述粉体原料供给源输送至上述气化器;
填充工序,其将上述吹扫气体阀关闭,并且向上述缓冲容器中填充吹扫气体;以及
除去工序,其将上述第一阀关闭,将上述第二阀以及上述吹扫气体阀打开,并且向上述第二阀供给吹扫气体,从而除去上述第二阀内的上述粉体原料,
上述除去工序中的上述第二阀的开度比上述输送工序中的上述第二阀的开度小。
8.根据权利要求7中记载的粉体除去方法,其中,
上述第二阀是隔膜阀,
通过对供给至上述第二阀的操作空气圧力进行控制,从而控制上述第二阀的开度。
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