[发明专利]柔性OLED显示面板及其制备方法

说明书

本申请实施例提供一种柔性OLED显示面板及其制备方法。本申请实施例提供的柔性OLED显示面板，通过在柔性基板与TFT层之间设置阻隔层，并设置从柔性基板至TFT层的方向上阻隔层中的氢元素的含量逐渐降低，使得阻隔层中靠近柔性基板一侧的氢元素含量较高，因此可以有效阻隔来自柔性基板一侧的水氧的侵蚀，避免外界水氧入侵导致的显示图像劣化以及OLED器件老化的问题，另外，由于阻隔层中靠近TFT层一侧的氢元素含量较低或者不含氢，因此可以有效减缓或阻止氢元素向TFT层中进行扩散，消除或者降低阻隔层中的氢扩散对于TFT电性的影响，提升柔性OLED显示面板图像画质的稳定性以及延长柔性OLED显示面板的使用寿命。

技术领域

本申请涉及显示领域，特别涉及一种柔性OLED显示面板及其制备方法。

背景技术

有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diodes，简称OLED)是自发光器件，它具有质量轻薄、功耗低、响应速度快、发光效率高及可实现柔性显示等优点，成为近年来应用较广的显示器件之一。其中，柔性OLED显示面板成为目前显示领域的主流产品。

柔性OLED显示面板的基板通常是柔性高分子材料(如PI等)，其阻隔水氧能力相对于玻璃基板来说明显不足，从而导致柔性OLED显示面板的显示画面不稳定，同时加速了OLED器件老化。现有的一个解决方式是制备无机水氧阻隔层，制备过程中通入含H气体，进一步增加阻隔层的致密性，但是随之而来的问题是大量的H会部分扩散到有源层，改变TFT阈值电压，造成图像画质下降。

发明内容

本申请实施例提供一种柔性OLED显示面板及其制备方法，柔性OLED显示面板的图像画质稳定，且具有较长的使用寿命。

第一方面，本申请实施例提供一种柔性OLED显示面板，包括：

柔性基板；

阻隔层，设于所述柔性基板的一侧；

TFT层，设于所述阻隔层远离所述柔性基板的一侧；

OLED层，设于所述TFT层远离所述阻隔层的一侧；

其中，从所述柔性基板至所述TFT层的方向上，所述阻隔层中的氢元素的含量逐渐降低。

在一些实施例中，所述阻隔层包括从所述柔性基板至所述TFT层的方向上依次层叠设置的多个阻隔单元层，多个所述阻隔单元层中的氢元素的含量逐渐降低。

在一些实施例中，每个所述阻隔单元层内部各区域的氢元素的浓度均匀一致。

在一些实施例中，从所述柔性基板至所述TFT层的方向上，每个所述阻隔单元层中的氢元素的浓度逐渐降低。

在一些实施例中，多个所述阻隔单元层中，最靠近所述TFT层设置的一个所述阻隔单元层中的氢元素的浓度为零。

在一些实施例中，所述阻隔层的厚度为

第二方面，本申请实施例提供一种柔性OLED显示面板的制备方法，包括：

提供承载基板，在所述承载基板上设置柔性基板；

在所述柔性基板的一侧设置阻隔层，在所述阻隔层远离所述柔性基板的一侧设置TFT层，从所述柔性基板至所述TFT层的方向上，所述阻隔层中的氢元素的含量逐渐降低；

在所述TFT层远离所述阻隔层的一侧设置OLED层；

去除所述承载基板，得到柔性OLED显示面板。

在一些实施例中，所述阻隔层的材料包括氮化硅；

所述在所述柔性基板的一侧设置阻隔层包括：

采用化学气相沉积的方法来制备所述阻隔层，反应气体包括硅烷、氨气和氢气。