[发明专利]柔性OLED显示面板及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性OLED显示面板，其特征在于，包括：

柔性基板；

阻隔层，设于所述柔性基板的一侧；

TFT层，设于所述阻隔层远离所述柔性基板的一侧；

OLED层，设于所述TFT层远离所述阻隔层的一侧；

其中，从所述柔性基板至所述TFT层的方向上，所述阻隔层中的氢元素的含量逐渐降低。

2.根据权利要求1所述的柔性OLED显示面板，其特征在于，所述阻隔层包括从所述柔性基板至所述TFT层的方向上依次层叠设置的多个阻隔单元层，多个所述阻隔单元层中的氢元素的含量逐渐降低。

3.根据权利要求2所述的柔性OLED显示面板，其特征在于，每个所述阻隔单元层内部各区域的氢元素的浓度均匀一致。

4.根据权利要求2所述的柔性OLED显示面板，其特征在于，从所述柔性基板至所述TFT层的方向上，每个所述阻隔单元层中的氢元素的浓度逐渐降低。

5.根据权利要求1所述的柔性OLED显示面板，其特征在于，多个所述阻隔单元层中，最靠近所述TFT层设置的一个所述阻隔单元层中的氢元素的浓度为零。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的柔性OLED显示面板，其特征在于，所述阻隔层的厚度为

7.一种柔性OLED显示面板的制备方法，其特征在于，包括：

提供承载基板，在所述承载基板上设置柔性基板；

在所述柔性基板的一侧设置阻隔层，在所述阻隔层远离所述柔性基板的一侧设置TFT层，从所述柔性基板至所述TFT层的方向上，所述阻隔层中的氢元素的含量逐渐降低；

在所述TFT层远离所述阻隔层的一侧设置OLED层；

去除所述承载基板，得到柔性OLED显示面板。

8.根据权利要求7所述的柔性OLED显示面板的制备方法，其特征在于，所述阻隔层的材料包括氮化硅；

所述在所述柔性基板的一侧设置阻隔层包括：

采用化学气相沉积的方法来制备所述阻隔层，反应气体包括硅烷、氨气和氢气。

9.根据权利要求8所述的柔性OLED显示面板的制备方法，其特征在于，在制备所述阻隔层的过程中逐渐降低所述反应气体中氢气的占比。

10.根据权利要求8所述的柔性OLED显示面板的制备方法，其特征在于，在制备所述阻隔层的过程中逐渐增大反应温度。