[发明专利]装载端口及其操作方法

权利要求书

1.一种使用半导体装置的方法，其包括：

经由装载端口的控制器，使气体的供应流流过所述装载端口的多个入口端口提供给运输载体；

经由所述控制器，从包含在所述装载端口的所述气体供应系统中的一或多个传感器接收传感器数据；

经由所述控制器并根据所述传感器数据，来确定所述气体供应系统的一或多个参数不满足一或多个参数阈值；以及

经由所述控制器并根据确定所述一或多个参数不满足所述一或多个参数阈值，使所述气体通过所述气体供应系统的释压阀从所述气体供应系统中被清除。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述一或多个参数阈值经布置以指示所述运输载体中的扩散器的阻塞已经发生。

3.根据权利要求1所述的方法，其中从所述一或多个传感器接收所述传感器数据包括：

从与所述多个入口端口相关联的一或多个压力传感器接收压力数据；

其中确定所述气体供应系统的所述一或多个参数不满足所述一或多个参数阈值包括：

根据所述压力数据，确定在所述多个入口端口处的所述气体供应系统中的压力测量不满足压力阈值；以及

其中使所述气体通过所述释压阀从所述气体供应系统中被清除包括：

根据确定所述压力不满足所述压力阈值，使所述气体通过所述释压阀从所述气体供应系统中被清除。

4.根据权利要求1所述的方法，其中从所述一或多个传感器接收所述传感器数据包括：

从与所述装载端口的多个出口端口相关联的湿度传感器接收湿度数据，所述气体的回流从所述运输载体流过所述多个出口端口；

其中确定所述气体供应系统的所述一或多个参数不满足所述一或多个参数阈值包括：

根据所述湿度数据确定所述运输载体中的湿度测量不满足湿度阈值；以及

其中，使所述气体通过所述释压阀从所述气体供应系统中被清除包括：

根据确定所述湿度不满足所述湿度阈值，使所述气体通过所述释压阀从所述气体供应系统中被清除。

5.根据权利要求1所述的方法，其中从所述一或多个传感器接收所述传感器数据包括：

从所述装载端口的装载端口平台上的振动传感器接收振动数据；

其中确定所述气体供应系统的所述一或多个参数不满足所述一或多个参数阈值包括：

根据所述振动数据确定与所述装载端口平台相关联的振动幅度不满足振动阈值；以及

其中使所述气体通过所述释压阀从所述气体供应系统中被清除包括：

根据确定所述振动幅度不满足所述振动阈值，使所述气体通过所述释压阀从所述气体供应系统中被清除。

6.一种使用半导体装置的方法，包括：

经由装载端口的控制器使所述装载端口的气体供应系统中包含的第一隔离阀和第二隔离阀关闭；

其中所述第一隔离阀和所述第二隔离阀关闭，以防止气体的供应流在所述第一隔离阀和所述第二隔离阀之间流动；

经由所述控制器并从包含在所述气体供应系统中的压力传感器，接收与在所述第一隔离阀和所述第二隔离阀之间的流动路径中的所述气体供应系统的一或多个组件相关联的压力数据，

其中所述压力数据是在所述第一隔离阀和所述第二隔离阀关闭时产生的；以及

经由所述控制器，根据所述压力数据确定在所述第一隔离阀和所述第二隔离阀之间的所述流动路径中是否发生泄漏。

7.根据权利要求6所述的方法，其中确定是否发生泄漏包括：

根据所述压力数据，确定所述第一隔离阀和所述第二隔离阀之间的所述流动路径中的压力不满足压力阈值；以及

根据确定所述压力不满足所述压力阈值来确定已经发生泄漏。

8.根据权利要求6所述的方法，其中使所述第一隔离阀和所述第二隔离阀关闭包括：

根据确定所述装载端口已经闲置了阈值时间量，而使所述第一隔离阀和所述第二隔离阀关闭。