[发明专利]一种用于三氯氢硅吸附除杂的活性炭吸附方法

权利要求书

1.一种用于三氯氢硅吸附除杂的活性炭吸附方法，其特征在于，其包括：活性炭吸附装置，该活性炭吸附装置包括吸附柱壳体(W1)，所述吸附柱壳体(W1)的顶部和底部均为封闭状；所述吸附柱壳体(W1)的外壁缠绕有外盘管(W9)；所述吸附柱壳体(W1)的上部设有吸附剂进口(W7)；所述吸附柱壳体(W1)底部设置吸附剂卸放口，所述吸附剂卸放口上连接有吸附剂卸放管(W5)，所述吸附柱壳体(W1)的下部设有进料管式分布器(W2)，所述吸附柱壳体(W1)的上部设有出料管式分布器(W3)，所述吸附柱壳体(W1)的上部设有尾气出口过滤管(W4)；

所述进料管式分布器(W2)包括进料管式分布管道和设置在进料管式分布管道上用于拦截作用的过滤帽(W6)，进料管式分布管道与吸附柱壳体(W1)的物料进口之间相连接；所述出料管式分布器(W3)包括出料管式分布管道和设置在出料管式分布管道上用于拦截作用的过滤帽(W6)，出料管式分布管道与吸附柱壳体(W1)的物料出口之间相连接；

所述吸附柱壳体(W1)的底部为倒锥形结构，其锥角为120°；所述吸附柱壳体(W1)底部的倒锥形结构的锥底设置吸附剂卸放口，所述吸附剂卸放口上连接有吸附剂卸放管(W5)，所述吸附剂卸放管(W5)的中心线与垂直线成120°夹角；

所述吸附剂卸放管(W5)的中心线与垂直线成120°夹角；吸附剂卸放管(W5)的末端焊有与其成90°夹角并且竖直向下的接管分支，接管分支外接150目丝网的Y型过滤器；

吸附时，活性炭吸附剂首先用吸附剂进口(W7)装填进吸附柱壳体(W1)，活性炭吸附剂的装填量为吸附柱壳体(W1)的总体积的80％；装填好后外盘管(W9)通入120℃的热氮气进行烘干，确保活性炭吸附剂中的水分含量低于10ppm；然后将低温三氯氢硅经进料管式分布器(W2)进行均布后通过活性炭吸附剂床层，进行吸附除硼；吸附后的三氯氢硅经出料管式分布器(W3)进行物料和活性炭吸附剂的分离，将三氯氢硅排出。

2.如权利要求1所述的一种用于三氯氢硅吸附除杂的活性炭吸附方法，其特征在于，所述出料管式分布管道的结构与进料管式分布管道的结构相对称，所述进料管式分布管道包括主管(21),主管(21)的两端为封闭端；所述主管(21)的两侧分别按间隔设有若干支管(22)，支管(22)与主管(21)相互垂直连通，且支管(22)的末端为封闭状；同一侧的若干支管(22)通过连接板(23)相固定；每个支管(22)上按间隔设有若干锐孔，每个锐孔上连接有过滤帽(W6)；所述主管(21)上连接有料管(24)，用于进料或出料。

3.如权利要求2所述的一种用于三氯氢硅吸附除杂的活性炭吸附方法，其特征在于，所述过滤帽(W6)包括丝杆(61)和与丝杆相连接的帽头(62)，所述丝杆(61)与锐孔相连接。

4.如权利要求3所述的一种用于三氯氢硅吸附除杂的活性炭吸附方法，其特征在于，所述帽头(62)的直径为70mm，过滤缝隙为0.25mm，帽头(62)的高度为100mm；丝杆(61)采用外螺纹M32，高度为55mm。

5.如权利要求1所述的一种用于三氯氢硅吸附除杂的活性炭吸附方法，其特征在于，所述尾气出口过滤管(W4)的末端为封闭状，尾气出口过滤管(W4)的表面均布开设通孔(41)，然后用丝网(42)裹夹，丝网(42)和尾气出口过滤管(W4)的表面按照梅花点阵焊接，点焊避开通孔位置。

6.如权利要求5所述的一种用于三氯氢硅吸附除杂的活性炭吸附方法，其特征在于，所述通孔(41)的直径为12mm，通孔(41)的数量为12个；所述丝网(42)为双层150目的丝网。

7.如权利要求1所述的一种用于三氯氢硅吸附除杂的活性炭吸附方法，其特征在于，所述吸附柱壳体(W1)的侧边连接有液位计(W8)。