[发明专利]一种PCB板及探针卡

说明书

本发明提供的PCB板，包括基板，基板的上表面围绕基板中心设置有至少两个金手指，每个金手指上均设置有测试连接点、器件连接区、第一隔离槽和第二隔离槽，器件连接区位于第一隔离槽内，并通过第一隔离槽与金手指断开连接，测试连接点位于第二隔离槽内，并通过第二隔离槽与金手指断开连接；器件连接区设置有至少两个第一连接点，第一连接点之间电导通，至少一个第一连接点与测试连接点电连接；基板的上表面围绕基板中心还设置有若干第二连接区，金手指位于第二连接区的外围区域。上述PCB板可作为验证板，通过多个金手指上的第一连接点连接元器件进行测量，得到测试机台的准确度；PCB板也可以作为探针卡的基板，提高了PCB板的高效使用。

技术领域

本发明属于半导体设计与制造的技术领域，特别涉及一种PCB板及探针卡。

背景技术

在半导体集成电路行业中，在测试机上进行晶圆级的电性测试时通常会使用到探针卡（probe card）来进行辅助测试。

现有的探针卡是将探针（probe）的一端固定在PCB板（电路板）上，然后再通过电路板与测试机台连接，探针（probe）的另一端则与晶圆上的每一块测试单元（DUT：deviceunder test）上的探点接触，从而形成一个完整的测试系统。探针卡的作用是通过扎针焊垫，从而使测试机台和被测试结构实现连通。在探针卡的使用过程中，每个测试机台厂家由于其测试头的独特设计，其使用的探针卡略有不同。

为了验证晶圆电性测试设备的测试精度和测试的准确性，通常在测试设备出厂前需要做一系列的验证工作，验证方式主要是通过对已知元器件进行测量，将测试设备测量得出的值与元器件的实际值进行对比来看差异，测量得出的值越接近实际值，说明测试设备的精度就越高。目前的探针卡仅能作为晶圆测试使用，在需要对测试设备进行验证时，需要额外的PCB验证板对元器件进行连接测试，增加了操作步骤，降低了测试效率。

同时，目前现有的探针卡的基板材料主要有两种，一种是全陶瓷材料，其价格较贵，漏电风险较低；另一种是FR4材料，价格相对便宜，但其在使用过程中漏电风险较高。由于晶圆属于低漏电产品，若探针卡的漏电风险较高会大大影响测试机台的测试精度，影响测试结果。

因此，有必要提供一种具有多功能性、且价格适中、漏电风险小的PCB板及其探针卡，以实现探针卡的高效使用。

发明内容

本发明提供一种PCB板，可实现PCB板的多功能性，并能够在保证低漏电风险的情况下大大降低生产成本。

本发明还提供一种探针卡，因采用上述PCB板，实现了探针卡的多功能性以及高效使用。

本发明的其他目的和优点可以从本发明所揭露的技术特征中得到进一步的了解。