[发明专利]一种芯片电子超纯水系统工艺及其系统装置

说明书

本发明涉及废水处理与回收利用设备，特别涉及芯片电子超纯水系统工艺及其系统装置。它包括芯片电子废水收集箱和增压泵、增压泵的出水端连通有叠片过滤器的进水端，叠片过滤器的出水端连通有耐污染UF装置的进水端，耐污染UF装置的出水端连通有中间水箱的进水端，中间水箱的出水端连通有RO增压泵的进水端，RO增压泵的出水端连通有超滤水净化装置的进水端，超滤水净化装置的出水端连通有保安过滤器的进水端，保安过滤器的出水端连通有高压泵的进水端，高压泵的出水端连通有抗污染RO装置的进水端，抗污染RO装置的出水端连通有RO产水水箱；耐污染UF装置的浓水端连接有硅粉回收集成装置，本发明设备可利用芯片研磨废水进行回用制备芯片电子超纯水。

技术领域

本发明涉及废水处理与回收利用设备，特别涉及芯片电子超纯水系统工艺及其系统装置。

背景技术

电子芯片大力发展，市场大，产生的废水多，固体悬浮物SS高，但废水中只含有硅粉、少量表面活性剂、含盐量极低等，污染并不大，有良好的可回收利用价值。

发明内容

本发明的第一目的是提供一种可解决高SS问题且能同时有效回收硅粉的利用芯片研磨废水进行回用的芯片电子超纯水系统工艺。

本发明的第二目的是提供一种可解决高SS问题且能同时有效回收硅粉的利用芯片研磨废水进行回用的芯片电子超纯水系统工艺用系统装置。

本发明的第一技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种芯片电子超纯水系统工艺，其芯片电子超纯水系统包括芯片电子废水收集箱，芯片电子废水收集箱的出水端连通有增压泵的进水端、增压泵的出水端连通有叠片过滤器的进水端，叠片过滤器的出水端连通有耐污染UF装置的进水端，耐污染UF装置的出水端连通有中间水箱的进水端；

芯片电子废水通过增压泵提升后经过叠片过滤器过滤，然后进入超滤装置进行过滤；所述超滤装置为聚砜材质的有机内压管式超滤装置，有机内压管式超滤装置过滤方式为死端过滤或错流过滤，有机内压管式超滤装置浓水端采用浓水循环方式，以加大管式膜内流速，防止沉积堵塞。

本发明芯片电子超纯水系统工艺采用有机内压管式超滤装置对研磨废水进行回收处理，充分保证了水中直径较大的颗粒，如胶体、固体颗粒、病菌、隐性孢子等被完全过滤掉，进而保证了出水不含悬浮物，可以直接使用，过滤效果较好。而且，有机内压管式超滤装置采用聚砜材质，具有优异的耐化学腐蚀的性能，因此可以在广泛的pH值范围内进行操作，并且耐氧化，可以用来处理加氯处理后的水，以及用强氧化剂进行清洗。

作为优选，所述耐污染UF装置进水量为产水量的2-4倍，耐污染UF装置连接的循环泵的循环量为总进水量60-70%，耐污染UF装置浓水量约为总进水量2-4%；

过滤精度≤30nm；

出水浊度≤0.2 NTU；

出水SDI2.5；

悬浮物0.5mg/L。

本发明的第二技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

中间水箱的出水端还连接有反洗泵，反洗泵的出水端连接有耐污染UF装置的进水端，耐污染UF装置的出水端还连接有循环泵，循环泵的出水端与叠片过滤器和耐污染UF装置之间的连接管路连通。

作为优选，中间水箱的出水端连通有RO增压泵的进水端，RO增压泵的出水端连通有超滤水净化装置的进水端，超滤水净化装置的出水端连通有保安过滤器的进水端，保安过滤器的出水端连通有高压泵的进水端，高压泵的出水端连通有抗污染RO装置的进水端，抗污染RO装置的出水端连通有RO产水水箱；所述超滤水净化装置与所述保安过滤器之间的连接管路连通有氢氧化钠加药管；耐污染UF装置的浓水端连接有硅粉回收集成装置。