[发明专利]具有未负载传输线的光功率调制器

权利要求书

1.一种用于光功率调制器的结构，其特征在于，该结构包含：

第一波导芯，包含第一区段及第二区段；

第二波导芯，包含与该第一波导芯的该第一区段横向相邻的第一区段及与该第一波导芯的该第二区段横向相邻的第二区段；以及

互连结构，位于该第一波导芯及该第二波导芯上方，该互连结构包含第一传输线及第二传输线，该第一传输线在该互连结构内实体连接到该第一波导芯的该第一区段，且该第二传输线包含在该互连结构内实体连接到该第一波导芯的该第二区段的第一区段及与该第一传输线相邻的第二区段。

2.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该互连结构包含第三传输线及第四传输线，该第三传输线连接到该第一波导芯的该第一区段，且该第四传输线包含连接到该第二波导芯的该第二区段的第一区段及与该第二波导芯的该第一区段相邻的第二区段。

3.如权利要求2所述的结构，其特征在于，还包含：

第一驱动器，并联耦接到该第一传输线及该第二传输线；以及

第二驱动器，并联耦接到该第三传输线及该第四传输线。

4.如权利要求1所述的结构，其特征在于，还包含：

驱动器，并联耦接到该第一传输线及该第二传输线。

5.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一传输线在该互连结构内未实体连接到该第一波导芯的该第二区段。

6.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第二传输线在该互连结构内未实体连接到该第一波导芯的该第一区段。

7.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一传输线具有靠近从该第二传输线的该第一区段到该第二传输线的该第二区段的转变的端面。

8.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一波导芯的该第一区段具有第一长度，且该第一波导芯的该第二区段具有等于该第一长度的第二长度。

9.如权利要求1所述的结构，其特征在于，还包含：

接地传输线，横向定位于该第二传输线的该第一区段与该第一传输线间。

10.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一波导芯的该第二区段从该第一波导芯的该第一区段横向偏移。

11.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第二传输线的该第一区段与该第一波导芯的该第二区段间隔第一距离，且该第二传输线的该第二区段与该第一波导芯的该第一区段间隔大于该第一距离的第二距离。

12.如权利要求11所述的结构，其特征在于，该第二传输线包含在该第一区段与该第二区段间的弯曲。

13.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一波导芯具有第一掺杂区及沿着p-n结邻接该第一掺杂区的第二掺杂区，该第一传输线实体连接到该第一波导芯的该第一区段中的该第一掺杂区，且该第二传输线的该第二区段实体连接到该第一波导芯的该第二区段中的该第一掺杂区。

14.如权利要求13所述的结构，其特征在于，该互连结构包含实体连接该第一传输线到该第一波导芯的该第一区段中的该第一掺杂区的第一互连，且该互连结构包含实体连接该第二传输线到该第一波导芯的该第二区段中的该第一掺杂区的第二互连。