[发明专利]金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法在审
申请号: | 202210013167.6 | 申请日: | 2022-01-07 |
公开(公告)号: | CN114561624A | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 黄新雷;李俊生;胡根水;孙虎 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(浙江)有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/18;C22B7/00;C22B21/00;H01L33/00 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 吕耀萍 |
地址: | 322000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 蒸发 台衬板 及其 制备 方法 残留 回收 | ||
本公开提供了一种金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法,属于光电子制造技术领域。该金属蒸发台衬板包括:板体和水溶材料层,所述水溶材料层位于所述板体用于承载工件的表面,所述水溶材料层溶于水。本公开能提高蒸镀金属电极后残留金属的回收效率,避免造成金属浪费,节省成本。
技术领域
本公开涉及光电子制造技术领域,特别涉及一种金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法。
背景技术
发光二极管(英文:Light Emitting Diode,简称:LED)作为光电子产业中极具影响力的新产品,具有体积小、使用寿命长、颜色丰富多彩、能耗低等特点,广泛应用于照明、显示屏、信号灯、背光源、玩具等领域。LED的核心结构是外延片,发光二极管芯片通常包括外延片和蒸镀在外延片表面的金属电极。
相关技术中,通常通过金属蒸发台在外延片的表面蒸镀金属电极,蒸镀过程中外延片是放置在金属蒸发台的衬板上的。然而,在蒸镀过程中,往往只有少量的金属蒸镀到外延片上,大部分的金属则蒸镀到金属蒸发台的衬板上,因此会造成大量的金属浪费。
发明内容
本公开实施例提供了一种金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法,能提高蒸镀金属电极后残留金属的回收效率,避免造成金属浪费,节省成本。所述技术方案如下:
一方面,本公开实施例提供了一种金属蒸发台衬板,所述金属蒸发台衬板包括:板体和水溶材料层,所述水溶材料层位于所述板体用于承载工件的表面,所述水溶材料层溶于水。
在本公开实施例的一种实现方式中,所述水溶材料层由涂料形成,所述涂料包括改性硅树脂和清水的混合物。
在本公开实施例的一种实现方式中,所述涂料中,所述改性硅树脂的质量百分比为78%至80%。
在本公开实施例的另一种实现方式中,所述涂料还包括色素材料,所述涂料中,所述色素材料的质量百分比为1%至2%。
在本公开实施例的另一种实现方式中,所述涂料还包括助剂,所述涂料中,所述助剂的质量百分比为2%至5%。
在本公开实施例的另一种实现方式中,所述水溶材料层的厚度为25μm至35μm。
第二方面,本公开实施例提供了一种金属蒸镀的残留金属回收方法,所述残留金属回收方法包括:提供如前文所述的金属蒸发台衬板;在所述金属蒸发台衬板中水溶材料层所在的一面完成芯片的电极的蒸镀;将所述金属蒸发台衬板放入清洗水槽浸泡,去除所述金属蒸发台衬板表面的水溶材料层,得到回收液;从所述回收液中分离出金属。
第三方面,本公开实施例提供了一种金属蒸发台衬板的制备方法,所述制备方法包括:在板体用于承载工件的表面形成水溶材料层,所述水溶材料层溶于水。
在本公开实施例的另一种实现方式中,所述在板体用于承载工件的表面形成水溶材料层之前,所述制备方法还包括:按照改性硅树脂的质量百分比为78%至80%,色素材料的质量百分比为1%至2%,助剂的质量百分比为2%至5%,余量为清水的配比,配置涂料。
在本公开实施例的另一种实现方式中,所述在板体用于承载工件的表面形成水溶材料层包括:在板体用于承载工件的表面喷涂所述涂料,直至用于承载工件的表面被全部染色;加热固化所述涂料,形成所述水溶材料层。
本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括:
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