[发明专利]金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法

权利要求书

1.一种金属蒸发台衬板，其特征在于，所述金属蒸发台衬板包括：板体(10)和水溶材料层(20)，所述水溶材料层(20)位于所述板体(10)用于承载工件的表面，所述水溶材料层(20)溶于水。

2.根据权利要求1所述的金属蒸发台衬板，其特征在于，所述水溶材料层(20)由涂料形成，所述涂料包括改性硅树脂和清水的混合物。

3.根据权利要求2所述的金属蒸发台衬板，其特征在于，所述涂料中，所述改性硅树脂的质量百分比为78％至80％。

4.根据权利要求2所述的金属蒸发台衬板，其特征在于，所述涂料还包括色素材料，所述色素材料的质量百分比为1％至2％。

5.根据权利要求3所述的金属蒸发台衬板，其特征在于，所述涂料还包括助剂，所述涂料中，所述助剂的质量百分比为2％至5％。

6.根据权利要求1至5任一项所述的金属蒸发台衬板，其特征在于，所述水溶材料层(20)的厚度为25μm至35μm。

7.一种金属蒸镀的残留金属回收方法，其特征在于，所述残留金属回收方法包括：

提供如权利要求1至6任一项所述的金属蒸发台衬板；

在所述金属蒸发台衬板中水溶材料层所在的一面完成芯片的电极的蒸镀；

将所述金属蒸发台衬板放入清洗水槽浸泡，去除所述金属蒸发台衬板表面的水溶材料层，得到回收液；

从所述回收液中分离出金属。

8.一种金属蒸发台衬板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：在板体用于承载工件的表面形成水溶材料层，所述水溶材料层溶于水。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述在板体用于承载工件的表面形成水溶材料层之前，所述制备方法还包括：

按照改性硅树脂的质量百分比为78％至80％，色素材料的质量百分比为1％至2％，助剂的质量百分比为2％至5％，余量为清水的配比，配置涂料。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述在板体用于承载工件的表面形成水溶材料层包括：

在板体用于承载工件的表面喷涂所述涂料，直至用于承载工件的表面被全部染色；

加热固化所述涂料，形成所述水溶材料层。