[发明专利]用于电子器件探针头的接触探针及相应的探针头

说明书

本发明公开了一种接触探针(20)，该接触探针具有第一端部(20A)和第二端部(20B)以及在第一端部(20A)和第二端部(20B)之间按照纵向发展轴(HH)延伸的探针主体(20C)，该第一端部的末端为适于紧贴在被测器件的接触垫上的接触尖端(20F)，该第二端部的末端为适于紧贴在测试设备的电路板的接触垫上的接触头(20E)，其特征在于，该接触探针包括弹性挡件(21)，该弹性挡件设置在探针主体(20G)的与第二端部(20B)相接布置的弹性部分中，所述弹性挡件(21)可在第一工作状态和第二工作状态之间弹性地变形，在第一工作状态下，该弹性挡件的横向直径(DG)大于探针主体(20C)的横向直径(DC)，在第二工作状态下，该弹性挡件的横向直径(DG')基本上与探针主体(20C)的横向直径(DC)相对应，术语横向直径是指根据与所述纵向发展轴(HH)正交的平面截取的截面最大横向尺寸，该截面甚至不是圆形的。

技术领域

本发明在其更普遍的方面涉及一种用于电子器件探针头的接触探针，下面的描述是参考这一应用领域进行的，目的只是为了简化其论述。

背景技术

众所周知，探针头本质上是一种适于将微观结构(特别是集成在晶圆上的电子器件)的多个接触垫与执行其功能测试(特别是电测试，或一般的测试)的探针设备的相应通道进行电连接的器件。

对集成电子器件进行的测试对于检测和隔离正在生产的有缺陷的器件特别有用。通常，在切割和组装集成在芯片密封封装体内的电子器件之前，探针头被用于对其进行电气测试。

探针头通常包括各种接触元件或探针，这些接触元件或探针由具有良好电气和机械性能的特殊合金制成，并设有至少一个与被测器件的接触垫接触的部分。

通常称为垂直探针头的探针头包括通常由至少一对板或导引件固定的多个接触探针，这些板或导引件基本上是板状的并且相互平行。所述导引件设有适当的孔，用于容纳探针，并且彼此之间有一定的距离，从而为接触探针的移动和可能的变形留出自由区域或空隙。这对导引件特别包括上导引件和下导引件，上导引件靠近与探针头连接的测试设备，下导引件靠近包含被测器件的晶圆，这两个导引件都设有对应的导引孔，接触探针在其中轴向滑动。换句话说，根据图中局部参考系的z轴，上导引件位于下导引件上方。

探针头的接触探针和被测器件的接触垫之间的良好连接是由探针头对该器件的按压来保证的，其中可在上下导引件的导引孔中移动的接触探针在所述按压接触期间在这两个导引件之间的空隙中弯曲并在对应的导引孔中滑动。

此外，接触探针在空隙中的弯曲可以通过探针本身或其导引件的适当配置来帮助，如图1示意性地所示，其中说明的探针头是所谓的移位板类型。

在这种情况下，探针头10包括至少一对上导引件(上模)，特别是第一上导引件16和第二上导引件17，它们是板状的，彼此平行，并与下导引件(下模)18平行，这些导引件分别设有第一上导引孔16A、第二上导引孔17A和下导引孔18A，接触探针11在其中滑动。在其他已知的实施例中(图中没有说明)，下导引件也被分成下导引件和中间导引件，后者也设有适当的导引孔，用于滑动接触探针11。

更具体地说，第一上导引件16和第二上导引件17相对于下导引件18移位，其中术语移位是指对应的第一上导引孔16A、第二上导引孔17A和下导引孔18A的中心相互错位，且不沿同一纵向方向，在图中局部参考系中用z表示，所述纵向方向z垂直于参考平面π，对应于导引件的横向发展平面。此外，第一上导引件16和第二下导引件17相对于彼此移位。因此，容纳在所述第一上导引件16、第二上导引件17和下导引件18的导引孔中的接触探针11相对于其纵向发展轴HH变形，对应于图中局部参考的纵向方向z。

每个接触探针11包括基本上沿纵向发展轴HH延伸的探针主体11C，多个接触探针11通常布置在探针头10内，所述纵向发展轴HH与参考平面π正交布置。