[发明专利]用于电子器件探针头的接触探针及相应的探针头

权利要求书

1.接触探针(20)，所述接触探针具有第一端部(20A)和第二端部(20B)以及在所述第一端部(20A)和所述第二端部(20B)之间按照纵向展开轴(HH)延伸的探针主体(20C)，所述第一端部末端是适于紧贴在被测器件的接触垫上的接触尖端(20F)，所述第二端部末端是适于紧贴在测试设备的电路板的接触垫上的接触头(20E)，其特征在于，所述接触探针包括弹性档件(21)，所述弹性挡件设置在所述探针主体(20C)的与所述第二端部(20B)相接布置的弹性部分(20G)中，所述弹性挡件(21)能够在第一工作状态和第二工作状态之间弹性地变形，在所述第一工作状态下，所述弹性挡件的横向直径(DG)大于所述探针主体(20C)的横向直径(DC)，在所述第二工作状态下，所述弹性挡件的横向直径(DG')基本上与所述探针主体(20C)的所述横向直径(DC)相对应，术语“横向直径”是指依据与所述纵向发展轴(HH)正交的平面截取的截面的最大横向尺寸，即使截取的截面不是圆形的。

2.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述弹性挡件(21)包括开口(Ap)，所述开口设置在所述探针主体(20C)的所述弹性部分(20G)中，并在所述弹性部分中限定出两个相对的臂(21a，21b)，所述两个相对的臂能够依据与所述纵向发展轴(HH)正交的横向方向靠近和远离移动。

3.根据权利要求2所述的接触探针(20)，其特征在于，所述开口(Ap)为水滴形，其尺寸沿所述探针主体(20C)的所述弹性部分(20G)向所述第二端部(20B)递减。

4.根据权利要求2所述的接触探针(20)，其特征在于，所述开口(Ap)沿所述探针主体(20C)的所述弹性部分(20G)延伸的长度(Lap)基本上与所述弹性部分(20G)的长度(LG)相对应，优选地介于100μm至400μm之间。

5.根据权利要求2所述的接触探针(20)，其特征在于，所述开口(Ap)具有非对称的形状，适于限定出相对于所述接触探针(20)的侧壁突出的至少一个臂。

6.根据权利要求5所述的接触探针(20)，其特征在于，所述开口(Ap)还在具有自由端(21c)的臂(21a)处延伸。

7.根据权利要求6所述的接触探针(20)，其特征在于，所述臂(21a)的所述自由端(21c)面向所述探针主体(20C)的圆角部分(22)。

8.根据权利要求2所述的接触探针(20)，其特征在于，所述开口(Ap)具有基本上椭圆形的形状，适于提供从所述接触探针(20)的相对壁突出的第一臂(21a)和第二臂(21b)，所述第一臂和所述第二臂基本上是相等的、对称的和相接的。

9.根据权利要求2所述的接触探针(20)，其特征在于，所述开口(Ap)具有在臂(21a)处中断并适于在臂中限定出具有第一自由端(21c1)的第一部分(21a1)和具有第二自由端(21c2)的第二部分(21a2)的基本上椭圆形的形状，所述弹性挡件(21)基本上为C形。

10.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，当所述接触探针(20)没有接触按压在被测器件的接触垫上时，所述探针主体(20C)具有预变形的形状，其曲线配置包括在静止状态下的弓形，其弧度介于1°至5°之间、优选地介于2°至3°之间。

11.根据权利要求1所述的接触探针(20)，其特征在于，所述接触探针包括至少一个另外的开口(23)，所述另外的开口沿所述探针主体(20C)延伸，由至少一个第一纵向臂(24a)和第二纵向臂(24b)形成为使得第一纵向臂和第二纵向臂基本上相互平行并沿所述纵向发展轴(HH)延伸，并被所述至少一个另外的开口(23)分开。