[发明专利]超纯水制造系统及超纯水制造方法

权利要求书

1.一种超纯水制造系统，其特征在于，其是具有前处理部、一次纯水制造部及二次纯水制造部、且用于制造超纯水的超纯水制造系统，其具有：

贮存部，该贮存部设置于所述前处理部的前段或所述前处理部与所述一次纯水制造部之间，能够贮存原水或被处理水；

回收处理部，该回收处理部对于所述超纯水的使用后得到的含有过氧化氢的使用完的超纯水，将混入该使用完的超纯水中的杂质除去，并且使所述过氧化氢的一部分或全部透过而制成回收水；和

循环机构，该循环机构将由所述回收处理部得到的回收水送回至所述贮存部并使其循环。

2.根据权利要求1所述的超纯水制造系统，其特征在于，所述回收处理部具有第一反渗透膜装置。

3.根据权利要求1或2所述的超纯水制造系统，其特征在于，所述回收处理部不具有活性炭装置。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的超纯水制造系统，其特征在于，所述一次纯水制造部具有第二反渗透膜装置，在该第二反渗透膜装置的前段具有次氯酸除去装置。

5.根据权利要求4所述的超纯水制造系统，其中，所述次氯酸除去装置为活性炭装置。

6.根据权利要求5所述的超纯水制造系统，其中，所述活性炭装置为高分解型活性炭装置。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的超纯水制造系统，其特征在于，在所述贮存部中，具有能够将所述回收水的供给量相对于所述原水或被处理水的供给量调整为10/90～50/50而供给的流量调整机构。

8.一种超纯水制造方法，其特征在于，其是将原水用前处理部、一次纯水制造部及二次纯水制造部进行处理来制造超纯水的超纯水制造方法，

其中，具有贮存部，该贮存部设置于所述前处理部的前段或所述前处理部与所述一次纯水制造部之间，能够贮存原水或被处理水，

将所述超纯水的使用后得到的含有过氧化氢的使用完的超纯水通过回收处理部进行处理，将混入该使用完的超纯水中的杂质除去，并且使所述过氧化氢的一部分或全部透过而制成回收水，

将所述回收水送回至所述贮存部并使其循环。

9.根据权利要求8所述的超纯水制造方法，其特征在于，所述回收处理部具有第一反渗透膜装置。

10.根据权利要求8或9所述的超纯水制造方法，其特征在于，所述回收水的过氧化氢浓度为2～50ppm。

11.根据权利要求8～10中任一项所述的超纯水制造方法，其特征在于，在所述贮存部内，将用所述前处理装置处理而得到的前处理水与所述回收水混合而得到的混合水的过氧化氢浓度为1～10ppm。

12.根据权利要求8～11中任一项所述的超纯水制造方法，其特征在于，所述一次纯水制造部具有第二反渗透膜装置和其前段的次氯酸除去装置，

通过所述次氯酸除去装置，将所述回收水中所含的次氯酸盐除去。

13.根据权利要求12所述的超纯水制造方法，其特征在于，所述次氯酸除去装置为活性炭装置。

14.根据权利要求13所述的超纯水制造方法，其特征在于，在所述活性炭装置中，将被处理水以SV＝5～40h^-1进行通水。