[发明专利]用于减轻周期性干扰引起的射频负载阻抗变化的设备及调谐方法

权利要求书

1.一种射频产生器，包括：

一射频电源；及

一射频功率控制器，耦合到该射频电源，该射频功率控制器被配置为生成一控制信号，以改变来自该射频电源的一射频输出信号，该射频功率控制器被配置为根据一触发信号，调整与该射频输出信号相关的一参数，

其中该参数是响应于引入的该参数的扰动而根据最小化或最大化成本中的一个来调整。

2.如权利要求1所述的射频产生器，其中该成本是根据一反射功率、一传输功率或一反射系数的大小中的一个来确定的。

3.如权利要求1所述的射频产生器，其中根据该成本来确定一梯度，并根据该梯度调整该参数。

4.如权利要求1所述的射频产生器，其中该参数是根据以一型样而配置的多个调整来调整的。

5.如权利要求4所述的射频产生器，其中该型样根据一外部射频输出信号的一周期而改变。

6.如权利要求5所述的射频产生器，其中该外部射频输出信号包括多个仓，并且其中该参数根据该多个仓中的每个仓而被扰动。

7.如权利要求5所述的射频产生器，其中该多个仓中的每个仓具有一宽度，并且一选定的仓的该宽度可与另一仓的一宽度相同或不同。

8.如权利要求1所述的射频产生器，其中该射频输出信号是施加到一等离子体腔室的一源射频信号，并且该触发信号根据一外部射频输出信号而改变，并且该外部射频输出信号是施加到该等离子体腔室的一偏压射频信号。

9.如权利要求1所述的射频产生器，其中该射频功率控制器根据该触发信号调整该参数，其中该触发信号指示一外部射频输出信号的一相对位置。

10.如权利要求1所述的射频产生器，其中该射频功率控制器被配置为基于储存在一储存器中或动态地确定的多个数值来调整该参数。

11.如权利要求1所述的射频产生器，其中该参数是一频率或一频率偏移中的一个，并且包括该射频功率控制器根据该触发信号以一预定顺序及时序向该射频输出信号引入的多个频率。

12.如权利要求1所述的射频产生器，其中该参数中的一个为一电抗或一电抗偏移，并且包括由该射频功率控制器根据该触发信号以一预定顺序及时序所控制的多个电抗，其中该电抗为电容值或电感值中的至少一个。

13.如权利要求12所述的射频产生器，其中该电容值或电感值中的至少一个随着相应的一电性可变电容或一电性可变电感而改变。

14.如权利要求1所述的射频产生器，其中该成本根据由一外部射频输出信号引起的一互调失真而改变。

15.如权利要求1所述的射频产生器，其中该射频功率控制器还包括一回放模块，该回放模块被配置为检测该触发信号并启动该参数的调整。

16.如权利要求15所述的射频产生器，其中该射频功率控制器还包括一查询表，该查询表被配置为储存该回放模块在检测到该触发信号之后对该参数的多次调整。

17.如权利要求1所述的射频产生器，其中该触发信号是周期性的或非周期性的中的一个。