[发明专利]闪耀衍射光学元件及闪耀衍射光学元件的制造方法

说明书

一种闪耀衍射光学元件，其具备：闪耀光栅对，具有第1闪耀部件及第2闪耀部件，并通过第1闪耀部件及第2闪耀部件作为光栅而发挥作用；及中间层，位于第1闪耀部件与第2闪耀部件之间，将第1闪耀部件的折射率设为Na、中间层的折射率设为N、第2闪耀部件的折射率设为Nb时，Na＞N＞Nb的大小关系成立。

技术领域

本发明的技术涉及一种闪耀衍射光学元件及闪耀衍射光学元件的制造方法。

背景技术

日本特开2011-107586号公报中公开了一种层叠了至少由3种材料构成的多个光栅的衍射光学元件。在日本专利文献1中记载的衍射光学元件中，多个光栅具有：第1组合部，由相互不同的材料M1A、M1B构成，格栅部的格栅侧缘包含沿格栅俯仰方向接触或靠近配置的2个光栅；及第2组合部，至少一个材料与第1组合部的2个光栅的材料不同，且包含由相互不同的材料M2A、M2B构成的2个光栅。而且，适当设定形成第1组合部的材料M1A、M1B的某一波长w(nm)下的折射率N1Aw、N1Bw、阿贝数v 1A、v 1B、形成第2组合部的材料M2A、M2B的d射线的折射率N2Ad、N2Bd、阿贝数v 2A、v 2B的值。

发明内容

本发明的技术所涉及的一实施方式提供一种闪耀衍射光学元件及闪耀衍射光学元件的制造方法，与使第1闪耀部件及第2闪耀部件直接层叠的情况相比，能够抑制因所入射的光而产生的重影。

用于解决技术课题的手段

本发明的技术所涉及的第1方式是闪耀衍射光学元件，其具备：闪耀光栅对，具有第1闪耀部件及第2闪耀部件，并通过第1闪耀部件及第2闪耀部件作为光栅而发挥作用；及中间层，位于第1闪耀部件与第2闪耀部件之间，将第1闪耀部件的折射率设为Na、中间层的折射率设为N、第2闪耀部件的折射率设为Nb时，Na＞N＞Nb的大小关系成立。

本发明的技术所涉及的第2方式是第1方式所涉及的闪耀衍射光学元件，其中，将第1闪耀部件及第2闪耀部件的格栅高度设为h、中间层的厚度设为t、临界角设为θc时，h＜t·tanθc的不等式及θc＝asin(Nb/Na)的等式成立。

本发明的技术所涉及的第3方式是第1方式或第2方式所涉及的闪耀衍射光学元件，其中，第1闪耀部件具有第1锯齿状面，第2闪耀部件具有第2锯齿状面，第1锯齿状面及第2锯齿状面经由中间层互补地卡合。

本发明的技术所涉及的第4方式是第1方式或第2方式所涉及的闪耀衍射光学元件，其中，第1闪耀部件具有第1锯齿状面，第2闪耀部件具有第2锯齿状面，第1锯齿状面由第1陡坡面及相比第1陡坡面梯度平缓的第1缓坡面形成，第2锯齿状面由第2陡坡面及相比第2陡坡面梯度平缓的的第2缓坡面形成，中间层在第1锯齿状面与第2锯齿状面之间配置于第1陡坡面与第2陡坡面之间。

本发明的技术所涉及的第5方式是第3方式所涉及的闪耀衍射光学元件，其中，第1锯齿状面由第1陡坡面及相比第1陡坡面梯度平缓的第1缓坡面形成，第2锯齿状面由第2陡坡面及相比第2陡坡面梯度平缓的第2缓坡面形成，中间层在第1锯齿状面与第2锯齿状面之间配置于第1陡坡面与第2陡坡面之间。

本发明的技术所涉及的第6方式是第1方式所涉及的闪耀衍射光学元件，其中，第1闪耀部件具有第1锯齿状面，第2闪耀部件具有第2锯齿状面，第1锯齿状面由第1陡坡面及相比第1陡坡面梯度平缓的第1缓坡面形成，第2锯齿状面由第2陡坡面及相比第2陡坡面梯度平缓的第2缓坡面形成，在第1锯齿状面与第2锯齿状面之间，将第1陡坡面与第2陡坡面之间的中间层的厚度设为t、第1闪耀部件及第2闪耀部件的格栅高度设为h、临界角设为θc时，h＜t·tanθc的不等式及θc＝asin(Nb/Na)的等式成立。

本发明的技术所涉及的第7方式是第4方式至第6方式中任一个方式所涉及的闪耀衍射光学元件，其中，第1闪耀部件具有第1基准面，第2闪耀部件具有第2基准面，第1陡坡面及第1缓坡面是从第1基准面立起的面，第2陡坡面及第2缓坡面是从第2基准面立起的面，第1陡坡面与第1基准面垂直，第2陡坡面与第2基准面垂直。