[发明专利]闪耀衍射光学元件及闪耀衍射光学元件的制造方法

权利要求书

1.一种闪耀衍射光学元件，其具备：

闪耀光栅对，具有第1闪耀部件及第2闪耀部件，并通过所述第1闪耀部件及所述第2闪耀部件作为光栅而发挥作用；及

中间层，位于所述第1闪耀部件与所述第2闪耀部件之间，

将所述第1闪耀部件的折射率设为Na、所述中间层的折射率设为N、所述第2闪耀部件的折射率设为Nb时，Na＞N＞Nb的大小关系成立。

2.根据权利要求1所述的闪耀衍射光学元件，其中，

将所述第1闪耀部件及所述第2闪耀部件的格栅高度设为h、所述中间层的厚度设为t、临界角设为θc时，h＜t·tanθc的不等式及θc＝asin(Nb/Na)的等式成立。

3.根据权利要求1或2所述的闪耀衍射光学元件，其中，

所述第1闪耀部件具有第1锯齿状面，

所述第2闪耀部件具有第2锯齿状面，

所述第1锯齿状面及所述第2锯齿状面经由所述中间层互补地卡合。

4.根据权利要求1或2所述的闪耀衍射光学元件，其中，

所述第1闪耀部件具有第1锯齿状面，

所述第2闪耀部件具有第2锯齿状面，

所述第1锯齿状面由第1陡坡面及相比所述第1陡坡面梯度平缓的第1缓坡面形成，

所述第2锯齿状面由第2陡坡面及相比所述第2陡坡面梯度平缓的第2缓坡面形成，

所述中间层在所述第1锯齿状面与所述第2锯齿状面之间配置于所述第1陡坡面与所述第2陡坡面之间。

5.根据权利要求3所述的闪耀衍射光学元件，其中，

所述第1锯齿状面由第1陡坡面及相比所述第1陡坡面梯度平缓的第1缓坡面形成，

所述第2锯齿状面由第2陡坡面及相比所述第2陡坡面梯度平缓的第2缓坡面形成，

所述中间层在所述第1锯齿状面与所述第2锯齿状面之间配置于所述第1陡坡面与所述第2陡坡面之间。

6.根据权利要求1所述的闪耀衍射光学元件，其中，

所述第1闪耀部件具有第1锯齿状面，

所述第2闪耀部件具有第2锯齿状面，

所述第1锯齿状面由第1陡坡面及相比所述第1陡坡面梯度平缓的第1缓坡面形成，

所述第2锯齿状面由第2陡坡面及相比所述第2陡坡面梯度平缓的第2缓坡面形成，

在所述第1锯齿状面与所述第2锯齿状面之间，将所述第1陡坡面与所述第2陡坡面之间的所述中间层的厚度设为t、所述第1闪耀部件及所述第2闪耀部件的格栅高度设为h、临界角设为θc时，h＜t·tanθc的不等式及θc＝asin(Nb/Na)的等式成立。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的闪耀衍射光学元件，其中，

所述第1闪耀部件具有第1基准面，

所述第2闪耀部件具有第2基准面，

所述第1陡坡面及所述第1缓坡面是从所述第1基准面立起的面，

所述第2陡坡面及所述第2缓坡面是从所述第2基准面立起的面，

所述第1陡坡面与所述第1基准面垂直，

所述第2陡坡面与所述第2基准面垂直。

8.根据权利要求3至7中任一项所述的闪耀衍射光学元件，其中，

所述第1锯齿状面及所述第2锯齿状面错开所述中间层的厚度的量而卡合。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的闪耀衍射光学元件，其中，

所述中间层由具有从所述第1闪耀部件侧至所述第2闪耀部件侧变小的折射率的多个层构成。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的闪耀衍射光学元件，其中，

所述中间层形成为膜状。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的闪耀衍射光学元件，其中，

所述第1闪耀部件的闪耀角及所述第2闪耀部件的闪耀角相同。