[发明专利]测试表面粒子污染的粒子测试系统、采样条、投射曝光设备和方法

权利要求书

1.一种用于检查表面(2)的粒子污染的粒子检查系统(1)，具有用于吸取粒子(5)的采样条(7)和采样装置(3)，其中所述采样装置(3)具有辊体(9)，所述辊体(9)设置成在其外表面(10)上引导采样条(7)，并且其中所述采样装置(3)设置成将所述辊体(9)与采样条(7)一起抵靠待检查的表面(2)滚动，以便将粒子(5)从所述待检查的表面(2)转移到所述采样条(7)，其中，所述采样装置(3)具有引导框(22)以便将所述采样装置(3)定位在所述待检查的表面(2)上或在所述待检查的表面(2)旁边，其中所述引导框(22)具有至少一个定位接口(24、25)，通过所述至少一个定位接口(24、25)，所述引导框(22)位于所述待检查的表面(2)上或另一表面上，并且其中所述采样装置(3)

a)具有被设计用于检测所述辊体(9)的任何转动运动的第一测量装置(16)；和/或

b)具有被设计用于检测所述辊体(9)在所述待检查的表面(2)上的任何接触压力的第二测量装置(19)。

2.根据权利要求1所述的粒子检查系统(1)，其特征在于，所述采样条(7)具有采样表面(8)，所述采样表面(8)被设计用于从所述待检查的表面(2)粘合地吸取所述粒子(5)，其中当所述采样条(7)沿所述辊体(9)的外表面(10)被引导时，所述采样表面(8)远离所述辊体(9)的外表面(10)。

3.根据权利要求2所述的粒子检查系统(1)，其特征在于，所述采样表面(8)具有压敏粘合剂(15)，用于从所述待检查的表面(2)上粘合吸取所述粒子(5)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的粒子检查系统(1)，其特征在于，所述采样条(7)由半透明材料形成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的粒子检查系统(1)，其特征在于，所述辊体(9)在所述采样装置(3)中相对于所述待检查的表面(2)弹性地安装，优选地弹簧安装。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的粒子检查系统(1)，其特征在于，所述第一测量装置(16)具有光学传感器(17)或磁传感器，以便检测所述辊体(9)的转动角度、所述辊体(9)的转动速度和/或所述辊体(9)的角速度。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的粒子检查系统(1)，其特征在于，所述第二测量装置(19)具有力感应器(20)、优选地具有弹簧元件的力感应器，电动力感应器或压电力感应器，以便检测所述辊体(9)在待所述检查的表面(2)上的接触压力。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的粒子检查系统(1)，其特征在于，所述采样装置(3)具有显示器(21)、特别是电子显示器(21)，以便向所述采样装置(3)的使用者示出凭借所述第一测量装置(16)检测的和/或凭借所述第二测量装置(19)检测的信息。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的粒子检查系统(1)，其特征在于，所述引导框(22)在所述待检查的表面(2)上或在所述待检查的表面(2)旁边能够平行于所述待检查的表面(2)移动，以便将所述辊体(9)与所述采样条(7)一起抵靠所述待检查的表面(2)滚动。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的粒子检查系统(1)，其特征在于，所述采样装置(3)具有致动器装置(26)，以使所述辊体(9)平行于所述待检查的表面(2)移动，以便以自动化的方式将所述辊体(9)与所述采样条(7)一起抵靠所述待检查的表面(2)滚动。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的粒子检查系统(1)，其特征在于，所述粒子检查系统(1)具有评估装置(4)，所述评估装置(4)被设计为按粒子尺寸、粒子类型、粒子量和/或粒子分布来评估由所述采样条(7)吸取的所述粒子(5)。