[发明专利]真空泵及真空泵用零件

说明书

为了不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而实现转子的效率良好的散热，真空泵（P）具有气体吸气口（2）和气体排气口（3）的外装壳（1）以及在外装壳（1）中旋转的转子（6），借助转子（6）的旋转，进行从气体吸气口（2）向气体排气口（3）的气体的排气；在真空泵（P）中，将转子（6）的形状做成大致圆筒形状，在转子（6）的内周面与定子柱（4）之间流动着吹扫气体（PG），所述定子柱（4）与转子（6）的内周面的至少一部分对置，并且在吹扫气体（PG）的流路设置有将吹扫气体（PG）的流动扰乱的突起（41）或槽（43）。

技术领域

本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置等的工艺腔室、其他密闭腔室的气体排气机构利用的真空泵及真空泵用零件。

背景技术

以往，作为通过对气体分子赋予动能而进行气体的压缩、将所吸气的气体向排气口放出的真空泵，已知有以下的真空泵：具备安装于壳体内壁的多个定子翼、具有与前述定子翼对置的多个旋转翼叶片的转子、以及在前述转子的内周面设置规定的间隙而对置的固定部（定子柱），通过使多个旋转翼叶片高速旋转来进行气体的抽吸、排气。

此外，在上述真空泵中，还提出了在上述结构的真空泵的后段组合了螺纹槽泵的结构。

顺便说一下，在半导体制造中使用这种真空泵的情况下，最近随着半导体制造技术发展，容易固体化的工艺气体被使用，在此情况下，特别是为了防止生成物的堆积而需要螺纹槽泵的高温化。

另一方面，转子的多个旋转翼叶片因气体分子的碰撞热等而成为高温，所以需要将在该转子部产生的热适当地散热。

作为将在转子部产生的热散热的技术，一般是用固定翼接受来自旋转翼叶片表面的辐射热、将该热经由固定翼间隔件、壳体向外部散热的方法，作为其之一，以往已知有专利文献1中记载的“分子泵”。

该专利文献1中记载的“分子泵”构成为，在比设置在最上段的转子翼靠下游，在与转子部对置并且与气体的流路面对的区域的定子叶片32的表面，形成朝向气体的流路伸出的板状的翅片（fin）51，借助该翅片51的形成，将定子叶片32的表面积扩大，使得容易接受来自旋转翼叶片表面的辐射热，同时，由此进一步减少经过定子翼22的气体分子的数量，通过使碰撞于定子叶片32而成为低温的气体分子的数量增加，使转子翼21的冷却效率提高。

但是，在上述专利文献1所记载的“分子泵”中，需要在定子叶片的表面上形成板状的翅片等的构造的变更。

却说，在专利文献2中公开了在转子的内周面与对置于该转子的内周面的定子柱之间流动着非活性气体的“真空泵”。

根据该专利文献2的“真空泵”，虽然不需要定子叶片等的构造的变更，此外也不需要变更旋转翼的材料、构造等，但由于在转子的内周面与定子柱之间流动的非活性气体成为层流，所以有不能进行利用该非活性气体的对流热传递的效率良好的转子的散热这一问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－278500号公报

专利文献2：日本特开2003－184785号公报。

发明内容

发明要解决的课题

鉴于此，本发明是为了解决这样的问题而做出的，其目的在于提供一种能够不变更固定翼、旋转翼的材料、构造而进行转子的效率良好的散热的真空泵及真空泵用零件。

用来解决课题的手段

为了达成上述的目的，技术方案1所记载的发明是一种真空泵，具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，其特征在于，将前述转子的形状做成大致圆筒形状，在前述转子的内周面与固定部之间流动着非活性气体，所述固定部与前述转子的前述内周面的至少一部分对置，并且，在前述非活性气体的流路设置有将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部。