[发明专利]真空泵及真空泵用零件

权利要求书

1.一种真空泵，具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，其特征在于，

将前述转子的形状做成大致圆筒形状，在前述转子的内周面与固定部之间流动着非活性气体，所述固定部与前述转子的前述内周面的至少一部分对置，并且，

在前述非活性气体的流路设置有将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述流动扰乱部由形成于前述固定部的周面或前述转子的前述内周面的一个或多个突起部构成。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述突起部是板体形状。

4.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，

前述突起部具有相对于前述非活性气体的流动方向弯曲的部分。

5.如权利要求2～4中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述突起部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面从其轴向以规定角度倾斜而形成。

6.如权利要求2～5中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述突起部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面相对于从其轴向以规定角度倾斜的方向相互设置间隙而排列有多个。

7.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述流动扰乱部由形成于前述固定部的周面或前述转子的前述内周面的一个或多个凹部构成。

8.如权利要求7所述的真空泵，其特征在于，

前述凹部是在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面沿着其轴向形成的槽。

9.如权利要求7或8所述的真空泵，其特征在于，

前述凹部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面从其轴向以规定角度倾斜而形成。

10.如权利要求7～9中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述凹部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面相对于从其轴向以规定角度倾斜的方向相互设置间隙而排列有多个。

11.一种真空泵用零件，对应于在真空泵中使用的固定部，

所述真空泵具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，

将前述转子的形状做成大致圆筒形状，在前述转子的内周面与前述固定部之间流动着非活性气体，所述固定部与前述转子的前述内周面的至少一部分对置，并且在前述非活性气体的流路设置有将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部，

该真空泵用零件的特征在于，

在与前述转子的前述内周面对置的周面设置有将前述非活性气体的流动扰乱的前述流动扰乱部。

12.一种真空泵用零件，对应于在真空泵中使用的转子，

所述真空泵具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的前述转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，

将前述转子的形状做成大致圆筒形状，在前述转子的内周面与固定部之间流动着非活性气体，所述固定部与前述转子的前述内周面的至少一部分对置，并且在前述非活性气体的流路设置有将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部，

该真空泵用零件的特征在于，

在与前述固定部对置的前述内周面上设置有将前述非活性气体的流动扰乱的前述流动扰乱部。