[发明专利]透明电极及其制造方法、以及使用透明电极的电子器件在审
申请号: | 202180018129.3 | 申请日: | 2021-03-12 |
公开(公告)号: | CN115349179A | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 内藤胜之;信田直美;五反田武志;齐田穰 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝能源系统株式会社 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 吴宗颐 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透明 电极 及其 制造 方法 以及 使用 电子器件 | ||
[课题]实施方式提供高稳定性、低薄层电阻、高透光性的透明电极及其制作方法、以及使用该透明电极的电子器件。[解决手段]一种透明电极(100),其具备包括透明基材(101)、金属网格(102)、金属纳米线(103)和中性聚噻吩混合物(104)的结构。所述金属网格(102)具有埋设入所述透明基材(101)的埋设部和从所述透明基材(101)突出的突出部,所述金属纳米线(103)和所述中性聚噻吩混合物(104)以与所述透明基材(101)或所述突出部接触的方式配置。
技术领域
本发明的实施方式涉及透明电极、其制作方法以及电子器件。
背景技术
近年来,能量消耗量不断增加,作为应对全球变暖的对策,对替代传统化石能源的替代能源的需求日益俱增。太阳能电池作为这样的替代能源的来源备受瞩目,其开发正在进行中。虽然研究了太阳能电池在各种用途中的应用,但为了应对各种各样的安装场所,太阳能电池的柔性化和耐久性尤为重要。最基本的单晶硅系太阳能电池的成本高且难以柔性化,目前备受瞩目的有机太阳能电池和有机无机混合太阳能电池在耐久性方面尚存改善余地。
除了这样的太阳能电池以外,对有机EL元件、光学传感器等光电转换元件,以柔性化和耐久性改良为目的进行了研究。在这样的元件中,作为透明阳电极,一般使用氧化铟锡(以下称为ITO)的膜。ITO膜通常通过溅射法等形成。为了得到具有高导电性的ITO膜,需要高温下的溅射和/或溅射后的高温退火,ITO膜往往不能应用于包含有机材料的基材等。另外,ITO膜的薄层电阻为10Ω/□左右,通常需要细条状的划线来制作大面积的太阳能电池,以获得更高的导电性。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利第6142870号
发明内容
发明要解决的课题
本实施方式鉴于上述这样的课题,提供一种透明电极及其制作方法和使用上述透明电极的电子器件,该透明电极能够实现稳定、极低的薄层电阻、高透光性且不需要精细划线的太阳能电池和大面积的照明等。
解决课题的手段
实施方式的透明电极的特征在于,具备包括
透明基材、
金属网格(metal grid)、
金属纳米线、和
中性聚噻吩混合物
的结构,
所述金属网格具有埋设入所述透明基材的埋设部和从所述透明基材突出的突出部,
所述金属纳米线和所述中性聚噻吩混合物以与所述透明基材或所述金属网格的所述突出部接触的方式配置。
另外,实施方式的透明电极的制作方法的特征在于,包括以下工序:
(A)准备临时支持体的工序,
(B)在所述临时支持体上配置金属网格的工序,
(C)将所述金属网格的一部分埋设入所述透明基材的工序,
(D)将所述透明基材与所述临时支持体剥离,以所述金属网格的剩余的一部分形成从所述透明基材的表面突出的突出部的方式将所述金属网格配置于所述透明基材的工序,
(E)将金属纳米线以与所述金属网格的突出部接触的方式配置的工序,以及
(F)将中性聚噻吩混合物以与所述金属网格的突出部接触的方式配置的工序。
另外,实施方式的电子器件的特征在于,具备上述透明电极。
附图说明
图1是表示实施方式的透明电极的结构的概念图。
图2是表示实施方式的透明电极的制造方法的概念图。
图3是表示实施方式的光电转换元件(太阳能电池单元)的结构的概念图。
图4是表示实施方式的光电转换元件(有机EL元件)的结构的概念图。
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H01L31-04 .用作转换器件的
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