[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，是将聚光区域的一部分对准对象物而照射激光，由此在所述对象物的内部沿着假想面形成改质区域的激光加工装置，其具备：

支撑所述对象物的支撑部；

将所述激光照射于所述对象物的照射部；

以所述聚光区域的一部分在所述对象物的内部沿着所述假想面移动的方式，使所述支撑部及所述照射部的至少一方移动的移动机构；及

控制所述支撑部、所述照射部及所述移动机构的控制部，

所述照射部具有以垂直于所述激光的光轴的面内的所述聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式对所述激光进行成形的成形部，

所述长边方向是与所述聚光区域的一部分的移动方向交叉的方向。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其中，所述长边方向是相对于所述聚光区域的一部分的移动方向呈45°以上倾斜的方向。

3.如权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，所述长边方向是沿着所述聚光区域的一部分的移动方向的垂直方向的方向。

4.如权利要求1至3中任一项所述的激光加工装置，其中，所述聚光区域的一部分的形状是椭圆率为0.88～0.95的形状。

5.如权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，其中，所述控制部，在所述对象物中沿着从周缘向内侧呈旋涡状延伸的加工用线，使所述聚光区域的一部分相对地移动，在所述对象物的内部形成所述改质区域。

6.如权利要求1至5中任一项所述的激光加工装置，其中，具备输入部，该输入部能够从用户接受：与所述聚光区域的一部分的形状相关的信息；与相对于所述聚光区域的一部分的移动方向的倾斜相关的信息；及与所述成形部的设定相关的信息的中的至少任一的输入，

所述控制部根据所述输入部的输入，控制所述支撑部、所述照射部及所述移动机构。

7.一种激光加工方法，是将聚光区域的一部分对准对象物而照射激光，由此在所述对象物的内部沿着假想面形成改质区域的激光加工方法，其具备：

将所述激光照射于所述对象物的照射工序，及

以所述聚光区域的一部分在所述对象物的内部沿着所述假想面移动的方式，使支撑所述对象物的支撑部及将所述激光照射于所述对象物的照射部的至少一方移动的移动工序，

所述照射工序具有以在垂直于所述激光的光轴的面内的所述聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式对所述激光进行成形的成形工序，

所述长边方向是与所述聚光区域的一部分的移动方向交叉的方向。