[实用新型]等离子体氮化设备的圆盘定位装置及相关设备有效
申请号: | 202123446219.9 | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN216902870U | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 田才忠;余先炜;贾海立 | 申请(专利权)人: | 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 北京市竞天公诚律师事务所 11770 | 代理人: | 陈果 |
地址: | 315100 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 等离子体 氮化 设备 圆盘 定位 装置 相关 | ||
本实用新型公开了一种等离子体氮化设备的圆盘定位装置及相关设备,其中,该等离子体氮化设备的圆盘定位装置包括底座,设置有多个支撑柱;至少两组定位柱,分别可拆卸地连接至少两个支撑柱;圆盘,包括与多个支撑柱对应的多个安装孔,其中,安装孔的直径小于支撑柱的直径,且大于每组定位柱的直径。实现了快速对圆盘定位,避免了手动定位时因需要前后左右移动导致定位不准,降低了对圆盘损坏风险。
技术领域
本实用新型涉及圆盘定位技术领域,尤其涉及一种等离子体氮化设备的圆盘定位装置及相关设备。
背景技术
相关技术中,等离子体氮化设备的圆盘定位时,需要手动对位,但在手动对位时,需要前后左右移动,会与支撑柱有摩擦,进而导致对位不准,且由于支撑柱表面积小,容易导致圆盘从支撑柱上滑落,使其圆盘损坏,因此,如何更好的实现圆盘定位成为亟待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
为此,本实用新型第一目的在于提出一种等离子体氮化设备的圆盘定位装置。
本实用新型第二目的在于提出一种等离子体氮化设备。
为了实现上述目的,本实用新型第一方面实施例的一种等离子体氮化设备的圆盘定位装置,包括:
底座,设置有多个支撑柱;
至少两组定位柱,分别可拆卸地连接至少两个支撑柱;
圆盘,包括与多个支撑柱对应的多个安装孔,其中,安装孔的直径小于支撑柱的直径,且大于每组定位柱的直径。
根据本实用新型实施例的等离子体氮化设备的圆盘定位装置,通过将至少两组定位柱,分别可拆卸地连接至少两个所述支撑柱,其中,支撑柱设置于底座上,然后将圆盘中与多个支撑柱对应的多个安装孔穿过支撑柱,使其对圆盘定位,避免了手动定位时因需要前后左右移动导致定位不准,降低了对圆盘损坏风险。
另外,根据本实用新型的等离子体氮化设备的圆盘定位装置还具有如下附加技术特征:
在本实用新型的一个实施例中,所述每组定位柱包括第一本体、第二本体和连接部,其中,所述第一本体和所述连接部分别连接于所述第二本体的两端,所述连接部用于可拆卸地连接所述支撑柱。
在本实用新型的一个实施例中,所述第一本体的径向尺寸小于所述第二本体的直径。
在本实用新型的一个实施例中,所述第一本体为球形面结构。
在本实用新型的一个实施例中,所述连接部为螺纹杆,所述螺纹杆用于可拆卸地连接于所述支撑柱的螺纹槽。
在本实用新型的一个实施例中,还包括:固定件,所述固定件用于穿过所述圆盘与所述支撑柱紧固连接。
在本实用新型的一个实施例中,所述每组定位柱采用Peek材质。
本实用新型第二方面实施例的提出一种等离子体氮化设备,包括第一方面实施例的等离子体氮化设备的圆盘固定装置。
本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
本实用新型上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中,
图1是根据本实用新型一个实施例的等离子体氮化设备的圆盘固定装置的结构示意图;
图2是根据本实用新型一个实施例的定位柱的结构示意图。
附图标记:
1、底座;2、支撑柱;3、定位柱;4、圆盘;5、安装孔;6、固定件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造